中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293744976 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 56は、フォトリソグラフィープロセスで使用される高度な光学マスクアライナーです。サイズ、形状、素材の幅広い高品質フォトマスクの製造を可能にするために設計された汎用性の高い機器です。これは、さまざまなマイクロエレクトロニクスおよび半導体プロセス向けに、高解像度で費用対効果の高いマスクアライメント用に特別に設計されています。このシステムは、マスクパターンを200mm x 200mmのアライメントフィールドで0。02ミクロンの精度でスキャンする高度なインラインステッピングスキャナを使用しています。スキャンを動的に変更してスキャナの倍率を上げたり、読み出しノイズを減らすことができます。MICROTEC MA56には2つのステージがあります。1つのステージはアライメントに使用され、もう1つは同じマスクパターンを同時にスキャンします。また、デジタル変調光源によるマスクパターンの観察を可能にするオンボード顕微鏡を搭載しており、最小の欠陥や不整合を検出することができます。機械は信頼でき、正確なマスクの修理か訂正を保障するために自動方向補償および高度の整列用具のような異なった選択の範囲を提供します。また、アライメントプロセス中にオペレータが介入する必要を排除する「アライメントフリー」モードと呼ばれる特殊なアライメント機能も備えています。KARL SUSS MA-56ツールは、MCSX、 C++、 MATLABなどの業界標準のプログラミングプラットフォームと組み合わせることで、既存の半導体プロセス自動化システムとの統合を容易にすることができます。このアセットは、画像処理、スレッド処理、DRC/DFMチェックなどのオプション機能もサポートしており、半導体デバイスの正確な要件を満たすためにマスクパターンの正確な位置決めを保証します。KARL SUSS/MICROTEC MA56は汎用性の高いプラットフォームであり、マルチチップおよびチップスタッキングから高解像度レチクル、オプトエレクトロニクス、およびウェハレベルパッケージまで、あらゆる種類のマイクロエレクトロニクスアプリケーションに使用できます。精密なアライメント、コスト削減、信頼性を提供するため、マイクロエレクトロニクスメーカーから高い評価を得ています。