中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293740285 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 56は、半導体製造プロセスで使用される最先端のマスクアライナーツールです。アライメント装置、アクチュエータ、マイクロマニピュレータシステムの3つの主要コンポーネントで構成されています。アライメントユニットは、マスクとウェーハの両方のアライメントマークを検出するために、デュアルオプティカルテレリーダーを使用しています。その後、光テレリーダーの精度に基づいて、2つの間の参照オフセットを生成します。アクチュエータは、マスクとウェーハを相対的な位置に移動させ、そこに保持するために使用されます。マイクロマニピュレータは、マスクとウェーハを参照フレームに移動させ、そこに保持するマニピュレータで構成されています。実際のフィーチャーサイズはウェーハ上の印刷に使用されるマスクによって決まり、このフィーチャーサイズはアライメントツールから期待される精度も決まります。この特定のツールでは、アライメント精度は1ミクロン以下であるため、高出力RF、アナログ、デジタルデバイスから幅広いデバイスに適しています。アクチュエータは1。5ミクロンという再現性があり、5ミクロンから25ミクロンまでのライン幅のデバイスに適しています。マスクアライナーには、ウェーハ上のフォトレジスト層を適切に露出させる7倍のスペクトル洪水ランプを備えた照明アセットも含まれています。ライトは使用されているマスクに特に合わせられ、均質で堅いビーム強度があります。このタイトな光線は、アライメントモデルでサブ0。5ミクロンの精度を達成することができるものです。マイクロテックのMA56には、計測機能を含むウェーハ洗浄および乾燥機能も含まれています。フルカセットからカセットまでの真空動作を備え、選択可能なZ軸ワイプを備えています。さらに、このツールには、自動化されたテスト機能、最大40Cの環境制御、温度および湿度制御、光損傷の保護、ホット/コールドチャック制御が装備されています。全体として、KARL SUSS MA-56は、高精度で信頼性の高いマスクアライナーツールです。最先端のコンポーネントにより、高出力のRFデバイスからデジタル設計まで、あらゆるアプリケーションに対応できます。さらに、ウェーハのクリーニングと乾燥、自動テスト機能により、カールサス/マイクロテックMA-56先進的な半導体製造プロセスに不可欠なツールとなっています。