中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293732395 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 56マスクアライナーは、微細加工技術で基板にパターンを伝達する精密機械です。マスクアライナーは、フォトリソグラフィ用途に制御照明を使用して、基板とフォトマスクをアライメントするためのツールです。MICROTEC MA56は、4〜8インチウェーハや各種基板サイズに対応できる卓上アライナーです。KARL SUSS MA-56の核となる成分は、回折光学素子（DOE）である。このDOEはビームを分割し、カールSUSS/MICROTECに独自のアライメント機能を与える異なる比率の部分ビームMA56生成します。これらの部分ビームは変調することができ、マスクを基板上に正確に配置することができます。また、KARL SUSS/MICROTEC MA-56には、調節可能なガス圧力チャンバーが装備されており、フォトリソグラフィープロセス中に基板の圧力を制御するために使用することができます。KARL SUSS MA56を使用すると、アライメントとオーバーレイプロセスに関連するさまざまなパラメータを制御および選択できます。これらのパラメータには、フィールドのサイズ、光の量、光の強度、光の位置、露光時間などが含まれます。これにより、ユーザーは個々のタスクに合わせてプロセスをカスタマイズできます。MA-56は強力で高度に構成可能なツールです。高解像度、微細な移動機能、自動パターンアライメント、オートマスクアライナー制御など、精度と再現性を高めるいくつかの機能を備えています。これにより、生産および複雑な研究アプリケーションに適しています。さらに、LCDのタッチ画面が付いているユーザーフレンドリーなインターフェイスは、さまざまな機能の容易な運行を可能にします。MICROTEC MA 56マスクアライナーは、フォトリソグラフィや微細加工プロセスに最適なツールです。圧電ステージはマスクや基材の正確なアライメントを可能にし、調節可能なガス圧力チャンバーは正確な圧力制御を可能にします。さらに、高度なマイクロプロセッサ駆動システムとユーザーフレンドリーなインターフェースにより、幅広いアプリケーションやプロセスタイプでモデルの精度と再現性が向上します。