中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293621163 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 56は、マイクロエレクトロニクス製品の製造においてフォトリソグラフィに使用される高精度マスクアライナーです。このアライナーは、手動と自動の両方の生産シナリオで使用でき、ユーザーに優れた精度、再現性、柔軟性を提供します。MICROTEC MA56は、高解像度のデジタルイメージングシステムを使用して、マスクを基板上に正確に整列および登録します。このシステムは、さまざまな照明源と組み合わせて、テレセントリック客観的で調整可能なフィールドレンズと組み込みのミスアライメント検出器を使用して、毎回正確なアライメント結果を提供します。自動ウェハハンドリングシステムにより、基板を素早く変更でき、高スループット生産が可能です。KARL SUSS MA-56には、ベクトルスキャン、鋸歯状スキャン、オーバーレイ補正など、いくつかの動作モードがあります。ベクタースキャンモードではパターンを正確かつ迅速に整列させることができますが、セレーテッドスキャンモードでは繰り返しダイサイズでステップダウン整列が可能です。オーバーレイ補正モードでは、マスクアライナーはマスクジオメトリのエラーを自動的に補正することができ、ミスアライメントを低減します。KARL SUSS/MICROTEC MA-56マスクアライナーは、4。5ミクロンの解像度と直径115 mmまでの円形の視野を備えています。2 x 2 mmから200 x 200 mmのダイサイズ範囲を提供し、最大アライメント速度は1,000 um/secです。このアライナーには直感的なユーザーインターフェイスが組み込まれており、非常に使いやすく、オートフォーカス、自動エッジ検出、ダイオート倍率、可変アライメントエネルギー設定などの追加機能が多数搭載されています。KARL SUSS/MICROTEC MA56は、生産および研究アプリケーション向けの信頼性と費用対効果の高いマスクアライナーです。優れた性能、再現性、柔軟性を提供し、ユーザーはマイクロエレクトロニクスの製造ニーズに対して一貫した結果を達成できます。