中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 / MJB55 #9136941 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 56/ MJB55は、マイクロコンポーネントの正確なパターニングとアライメントのために特別に設計されたマスクアライナー装置です。MA 56は正確に制御された真空対応チャックで基板を保持し、MJB55は2レベルのアライメントおよびx-y-zポジショニングシステムであり、すべてのマイクロアライメントおよびポジショニング機能を実行します。これらを組み合わせて、高度なマイクロエレクトロニクスチップ製造に使用されるマスキングおよびフォトリソグラフィー工程において、非常に高精度で再現可能な結果を提供します。MA 56は、フラット基板のアライメントとパターニングに高精度のステージを採用し、X、 Y、 Z方向の0。1ミクロン（100ナノメートル）の範囲で精度を提供することができます。ステージの移動範囲は400 x 400mm （15。7 "x15。7"）で、精度は+/-2um （0。08"）です。ヘッドは一軸傾斜ステージに取り付けられており、+/-10アーク秒、および360度の連続回転ステージに正確です。MJB 55は、6軸の運動（x-y-z、 θ x、 θ y、およびθ z）を持つステージ制御マスクアライナーユニットです。70 x 70mm （2。75 "x2。75"）の移動範囲で、位置決め精度は+/-2um （0。08"）で、最大2度/秒の回転速度が可能です。3Kスピードスキャンも可能で、サブミクロン精度に適しています。MA 56およびMJB 55は、4 「x 4」から12 「x 12」までの幅広いマスクサイズに対応でき、標準のフォトイメージングプレートと基板の両方に対応しています。また、基板平行性を確保する自動ギャップ検出、自己整列ステップとリピートルーチンなど、高精度を確保するためのさまざまな機能を備えています。MICROTEC MA 56/ MJB55は、高度なIC製造に必要なすべてのマスキングおよびフォトリソグラフィ工程を実行するための理想的なツールです。正確で反復可能な結果を提供し、その幅広い機能と機能により、チップメーカーにとって、高精度のパターニングとマイクロコンポーネントのアライメントを求める不可欠なツールとなります。