中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 55 #123195 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 55は、様々な基板とフォトマスクを正確にアライメントするために設計されたフォトリソグラフィ装置です。特にマイクロエレクトロニクス、マイクロメカニカル、オプトエレクトロニクス機器の製造に適しています。MICROTEC MA 55は、8x8インチの精密光学テーブルと10x顕微鏡を備えたマスクアライナーです。マスクと基板を最低限のオペレータ介入で整列させるための2次元（2D）アライメントシステムを内蔵しています。このユニットは、マスクとウェーハの両方の位置決めに平面と傾斜の両方のアライメント機能を提供するように設計されています。平面合わせた場合、± 0。4ミクロンの性能を維持することができます。KARL SUSS MA-55は、フォトリソグラフィ用の汎用性の高い高精度プラットフォームを提供します。マスキング用とウェーハ加工用の2つの独立した制御システムがあります。それぞれにデータ入力と操作のための専用のWindowsベースのソフトウェアがあります。マスクコントロールマシンは、ユーザーが位置図、マスクサイズと種類、およびオーバーレイとずれなどのマスクデータを入力することができます。ウエハコントロールツールを使用すると、位置図、ウエハシェイプ、ウエハタイプなどのウエハデータを入力できます。MICROTEC MA-55は、10x顕微鏡、5x顕微鏡などの高解像度光学系を提供しています。また、写真撮影用の低消費電力5メガピクセルデジタルCCDカメラとin-situマスク検査が含まれています。また、KARL SUSS/MICROTEC MA-55は、正確なマスクアライメントとウェハ操作のためのエアベアリングスライドレールアセットを内蔵しています。エアベアリングスライドレールモデルは、安定化されたマスク間ウェーハのアライメントを保証し、サブミクロンの位置アライメント精度を確保します。MA 55は、8 x 8インチまでの幅広いフォトマスクと、さまざまなウェーハ形状をサポートしています。その露出ランプは10,000ルクスまでの強度の精密な、照明の分野を作り出します。整列および露出部品すべては汚染を防ぐために統合されたガスろ過モジュールと真空密封されます。MA-55は、幅広い業界で使用される信頼性の高い正確なフォトリソグラフィ装置です。高度な光学系、CCDカメラ、エアベアリングスライドレールシステムにより、高いアライメント精度を実現します。内蔵のガス濾過ユニットは、一貫した結果を得るためにきれいで汚染のない露出を保証します。汎用性の高いマスクアライナーは、電子、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、マイクロメカニカルデバイスのプロトタイピング、研究、製造に適しています。