中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 45 #9221607 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC MA 45
ID: 9221607
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 45は、フォトリソグラフィなどの微細加工プロセスで使用される高度で信頼性の高いマスクアライナーです。MICROTEC MA 45は、2つの異なるフィールドレンズ間の光の干渉を可変焦点機能を使用して、レチクルの設計パターンを基板と正確に調整します。レチクルは、高精度ステッピングモーター制御のXYステージに取り付けられており、レチクルを高精度で位置調整および角度調整することができます。KARL SUSS MA-45は、450nmの連続波長の光を生成します。これは、内部の光プロジェクターと石英レンズにレチクルを通して指示されます。これにより、光干渉が発生し、基板上にパターンが作成されます。その後、フォトレジスト素材を使用して基板上にパターンを移し、写真撮影前に基板上に広げます。KARL SUSS MA 45は、最適な結果を得るために調整できる範囲の設定を提供します。これには、露出時間、絞りサイズ、ホイルギャップ、レチクルフォーカス、基板フォーカス、およびその他の設定を制御するオプションが含まれます。MICROTEC MA-45は、露出時間や絞りサイズを制御できるだけでなく、非常に小さな開口部での動作を可能にする高解像度モード機能を搭載しているため、高解像度の画像を撮影することができます。KARL SUSS/MICROTEC MA-45の堅牢な設計により、空気の乱れや振動による妨害を最小限に抑え、フォトリソグラフィープロセスの精度を高めます。MA-45には、プロの設定で使用するための魅力的なオプションになる追加機能も付属しています。これらの機能の1つは、マスクアライナーが最適なアライメントを確保するために基板の任意の傾きを自動的に検出して調整することを可能にする内蔵の自動レベリングシステムです。複数のモニター画面では、マスク整列プロセスの進行状況をリアルタイムで監視することもできます。全体的に、MA 45は信頼性が高く高度なマスクアライナーであり、微細加工プロジェクトの特定の要件に合わせて調整することができます。KARL SUSS/MICROTEC MA 45は、強力な機能とブランドの信頼性により、高解像度で高精度なフォトリソグラフィ作業を比較的簡単に実現できます。
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