中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 45 #9221606 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 45は、マスク上のパターン配置と基板上の表面の特徴との高精度なアライメントを提供する洗練されたマスクアライナーです。これは、パターンと基板の間に正確なフィットを確保するために、機械的および光学センサーの組み合わせを使用して、接触アライナーです。MICROTEC MA 45は、自動化されたキャリブレーションを使用して、ジョブの選択とアライメントプロセスを簡素化し、スループットを大幅に向上させ、セットアップ時間を短縮します。KARL SUSS MA-45は、マシンハウジングとカメラアセンブリ、および真空チャック搭載ウェハステージで構成されています。装置は4つのアライメントビジョンシステムで構成されています。2つは粗いアライメント用、2つは細かいアライメント用です。パターンとウェーハサーフェスから画像データをキャプチャするには、シングルビームスキャンユニットを使用します。このデータはソフトウェアで処理され、アライメントのパラメータを生成し、最大2ミクロンの登録精度を実現します。KARL SUSS MA 45は、ウェーハ基板の包括的なアクセスとカバレッジを提供する複数の露出機能を備えています。それは異なったパターンおよび特徴との使用のために複数の異なったタイプの映写光学が、装備されています。また、複数のソースホルダーを装備することができ、さまざまなマスクフォーマットを処理することができます。このユニットは人間工学に基づいた設計で、オペレータはすべての操作を管理し、単一のコンソールからプロセスデータを検証することができます。Linuxベースのオペレーティングマシンによって制御され、SUSS MICROTECソフトウェアツールとインタフェースすることができ、エンジニアはジョブの保存、露出結果の監視、必要に応じてパラメータの調整が可能です。また、KARL SUSS/MICROTEC MA-45は、他の幅広い機器と統合することができ、自動化された材料および資源処理システムと互換性があります。これにより、ユーザーは効率的な自動化のための完全な生産システムを作成し、コスト効率が高く信頼性の高い生産作業を行うことができます。