中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 45 #9159265 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 45マスクアライナーは、ウェーハのような基板上にレイヤードフォトマスクを正確かつ正確に配置または「露出」するために設計された特殊な装置です。アライナーは、マスクのそれぞれの分離されたマスクとレイヤーを露出する前に、最初のスキャンと自動的にウェーハ全体の整列によって実行されます。自動化されたレーザベースのスキャンシステムを使用することで、マスクを再配置することなく、延長走行中のアライメント精度を維持できます。このユニットは、産業用途や研究開発プロセスに非常に適しています。MICROTEC MA 45マスクアライナーは、基板（通常はウェーハ）を保持するステージとフォトマスクを配置する「ボード」で構成されています。アライナーの光学機械はマスクおよび基質の上に取付けられます。各レイヤーまたはマスクを露出するために、この光学ツールは、ウェーハ上のマスクを正確に整列させます。アライメントは通常、約1マイクロメートルの精度で実行されます。KARL SUSS MA-45マスクアライナーは、マスクの各層を露出するための紫外線の明るい源を利用しています。光はフォトマスクを通して、次にウェーハに投影されます。これに続いて開発者が適用されます。開発者は、紫外線にさらされたウェーハの領域から不要なフォトレジスト材料を除去するために使用され、望ましい画像やパターンを残します。マスクアライナーのアセットは、特定のアプリケーションに対して個別に設定できる複数のモジュールで構成されています。これらのモジュールは、ステッピングモータ制御、レーザースポッティング、イメージング、オプティカルアライメント、ウェーハ固定機能を提供します。マスクは、バッチモードまたは一度に1つのウェーハで露出することができます。アライナーの光学投影モデルは、テレセントリック客観的およびデジタル画像解析ユニットで構成されています。この顕微鏡には、ダイオードアレイとCCDカメラが含まれており、マスク画像をキャプチャしてアライメント精度を測定して決定することができます。MA-45マスクアライナーは、層状フォトマスクをウェーハ上に配置して露出させるための高精度な装置です。自動化されたアライメントメカニクスと照明付き光学システムにより、複数のマスクを1回の実行で正確かつ効率的にアライメントすることができ、産業用および研究用の設定に最適です。ユニットのモジュラー設計により、さまざまなアプリケーションに適応できます。