中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 45 #35224 を販売中
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ID: 35224
ウェーハサイズ: 4"
Aligner, 4"
Table top system
Up to 4x4" substrates or 4" wafers
Mask holder: 2", 3" and 4"
Top-side alignment
Manual operation
Split field optics
Lamp: 350 Watt.
KARL SUSS/MICROTEC MA 45は、微細加工などのリソグラフィープロセスで使用される高度で信頼性の高いマスクアライナーです。MICROTEC MA 45は、0。2ミクロンまでの小さな構造物を高精度にパターン化することができます。この装置は産業用に特別に設計されており、その堅牢な構造は品質の結果を保証します。KARL SUSS MA-45は、光の露出、静電アライナー、精密電動ステージの使用を組み合わせて、正確さと効率を保証します。露出システムには、電子的に作動する封じられた水晶フードが付属しています。このフードは、シングルエクスポージャーのマスキングにも使用できます。さらに、特許取得済みのスリットプロジェクターを使用して、パターンをサンプルに高精度にアライメントします。アライメントに使用されるコイルは、高い要求に耐えることができ、可能な限り最高の解像度を提供します。MA-45の主な利点の1つは、広い領域にわたって高いアスペクト比パターンを実行することです。これにより、より高い精度と制御が可能になり、非常に細かい機能を作成することができます。ステージはまた、短時間で高解像度を達成するために重要な視野を持つことができます。KARL SUSS MA 45の操作も非常にユーザーフレンドリーです。直感的なタッチスクリーンインターフェイスを備えています。このインターフェースは、パターニングプロセスのナビゲーションとプログラミングを簡単かつ効率的にします。ユーザーインターフェイスはまた、リアルタイムでセットアップを表示し、高度な処理ツールを提供します。最後に、MICROTEC MA-45には高度な安全機能が搭載されています。この安全機能は、オペレータの温度と生徒を監視し、過度の熱が検出された場合はエクスポージャーをシャットオフします。これは、高熱が期待される産業環境で特に有用です。KARL SUSS/MICROTEC MA-45は、産業用ラインマスクアライナーのトップです。微細加工ニーズに最適で、精度、信頼性、安全性に優れています。さらに、ユーザーフレンドリーで直感的なインターフェイスは、精度と効率を求めるリトグラファーに最適です。
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