中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 45 #293748730 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 45は、集積回路の製造に広く使用されている精密マスクアライナーです。MICROTEC MA 45は、高精度の6軸マイクロポジショナー、光学機器、光源で構成されています。このコンポーネントの組み合わせは、シリコンウェーハ上のフォトレジストパターンを正確に整列させて露出させるために使用されます。6軸マイクロポジショナーは、KARL SUSS MA-45の心臓部です。これは、3つの直線方向と3つの角度方向に移動できるプラットフォームで構成されています。マイクロポジショナーは、精密設計されたモーターと各軸の分離ステージによって駆動されます。これにより、フォトレジストパターンをナノメートルレベルまで高精度に露出およびアライメントできます。KARL SUSS MA 45の光学系は、レンズ、ミラー、フィルターを組み合わせて、シリコンウェーハ上のフォトレジストパターンを正確に揃えて露出させます。精度と露出の一貫性を確保するために、特殊な照明源を使用しています。ウェーハ表面のフォトレジストパターンの拡大投影を提供します。MICROTEC MA-45の光学機器は、モデルやユニット構成に応じて、1回の露光工程で正と負の両方のフォトマスクの露出を投影することができます。MA 45を使用すると、フォトレジストパターンの露出とアライメントを3つのモードで行うことができます。手動モードではマスクアライナーを完全に制御でき、半自動モードでは露出時間、露出面積、寸法などの特定のパラメータを指定できます。自動化モードは、あらかじめプログラムされたパラメータに基づいて、プロセスを完全に自動化するために使用できます。MA-45は、現代のシリコンウェーハ製造プロセスのための貴重なデジタルリソグラフィーツールです。高精度で効率的で使いやすく、半導体業界の企業に人気があります。このマスクアライナーは、最大限の精度と一貫性でウェーハ表面に大きく複雑なパターンを露出することができます。