中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 45 #293739721 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 45マスクアライナーは、半導体と薄膜デバイスのパターンをウェーハに正確に転送するためのフォトリソグラフィーツールです。直径8インチまでの異なるサイズのウェーハ上の回路をパターン化するために設計された精密自動機械です。ハードウェアは光学アセンブリ、x-y-z動作装置、パターン認識システムで構成されています。光学アセンブリには、インデックスプレート、平面ミラー、光源、光学イメージングユニット、倍率マシンがあります。x-y-zモーションツールは、マスクとウェーハを3次元で正確に動かすことができます。これらの2つのサブシステムは、マスクからウェーハに正確にパターンを転送する責任があります。パターン認識アセットは、マスクとウェーハを配置し、ジョブデータを保存および取得するために使用されるコンピュータ制御モデルです。MICROTEC MA 45のフォトリソグラフィープロセスは、オペレータがウェーハとマスクを機械に装填することから始まります。装填されると、マスクはx-y-z動作装置のウェーハの上に配置されます。パターン認識システムは、マスクとウェーハのインデックスポイントを使用して、互いに正確に配置します。その後、光学ユニットはマスクからパターンをウェーハに投影し、x-y-zモーションマシンはパターンの輪郭に沿って2つを揃えます。このプロセスは、マスクのすべてのパターンがウェーハに転送されるまで繰り返されます。KARL SUSS MA-45は複数のウェーハを連続して転送できるため、比較的高いスループットを実現できます。MICROTEC MA-45マスクアライナーは、半導体デバイス製造や薄膜技術に欠かせない極めて精密な装置です。回路作成プロセスにおいて非常に高い精度を提供することにより、旋回時間と生産コストを削減するのに役立ちます。KARL SUSS MA 45は、信頼性が高く、効率的でユーザーフレンドリーな機器であり、生産プロセス全体の改善に役立ちます。