中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 4 #9279272 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 4は、基板上にパターンを正確に配置できる高性能マスクアライナーです。アライナーは、マイクロエレクトロニクス部品の高効率接触アライニング用に特別に設計されています。マイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクスデバイスプロセスアプリケーション用に、正と負のフォトレジストとUV感受性材料の両方をパターン化できます。MICROTEC MA 4アライナーは、パターンモーションシステムを備えたコンピュータ制御、電動、手動アライメント顕微鏡に基づいています。このシステムは、顕微鏡のパターンの正確な手動アライメントを可能にします。真空を使用してパターンを保護し、オブジェクトプレーンからCCDタイプカメラへの位置合わせポイントを画像に光ディフレクターを使用します。このカメラは1。0ミクロンの解像度を持ち、異なるパターンや基板サイズに対応するためにズームインまたはズームアウトすることができます。KARL SUSS MA-4アライナーには、スマートポジショナー、X-Yステージ、ステッピングモーターが装備されています。スマートなポジショナは正確な部品の整列を保証するコンピュータ制御ロボットアームです。X-Yステージでは、基板を2つの軸で動かすことで、パターンを正確に揃えることができます。ステッピングモーターは、基板が歪みなくカメラに正確にイメージされるようにします。KARL SUSS/MICROTEC MA-4アライナーには、照明システム、反射防止コーティング、自動フォーカスコントロールが統合されています。また、より効率的な生産のための自動セットアップを可能にするプログラム可能なパターンマスクルーチンを備えています。アライナーには、アライメントプロセスの精度を保証するために使用されるキャリブレーションプログラムが装備されています。MA 4アライナーは非常に精密で、さまざまな材料に対応できます。PMMA、ドライフィルム、ポリイミド、AZフォトレジストと互換性があります。高い精度と感度により、アライナーはエッジを0。5 µmまで加工できます。モーター駆動による高速化により、より高速な生産サイクルを実現します。MICROTEC MA-4は、幅広いマイクロエレクトロニクス生産に適した信頼性の高い強力なマスクアライナーです。