中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 4 Series III BSA #293639816 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 4 Series III BSAは、先進的な半導体加工アプリケーション向けに設計された高精度マスクアライナーです。このデバイスは、最高の精度と再現性のために石英マスクブランクと均一な表面光学機器を備えています。ウエハーは最大200mmまで対応可能（特別注文ベース）で、厚さ40mmまでの基板を露出することができます。MICROTEC MA 4 Series III BSAは、独自のX-y- θトリプルアライメントシステムを使用して、ウェーハまたはマスクブランクの角度とX-Y位置の両方を正確に制御するキャリブレーテッドナノメータステージを備えています。4ポイントトップとボトムコンタクトメカニズムは、光の露出が中央に配置され、露出領域全体にわたって一貫していることを保証します。また、4つの拡散チャンバを利用した独自のエアフローユニットにより、露出時の空気乱れや温度変動を低減し、より高い露光量、シート抵抗の低減、歩留まりの向上を実現しています。さらに、高度な液体および粒子除去技術により、汚染のリスクを低減するように設計されています。これにより、品質と精度を確保し、余分な消費電力を削減できます。KARL SUSS MA 4 Series III BSAは、アライメント精度を向上させるために設計された高度な光学ツールも備えています。高精度パターン認識用のレーザパターンレチクルと、上下の露出用の両面露光を備えています。また、4軸露光機能を備えており、性能を向上させるための高度な光学フィルターを備えています。資産はまた、安全性を念頭に置いて設計されています。操作中の露出室などの危険箇所への侵入を防ぐための安全インターロックや、潜在的な危険や露出の問題をユーザーに警告するための可聴および視覚アラームが装備されています。MA 4 シリーズIII BSAは、高度な半導体加工のためのエキスパートで精密なマスクアライメントを提供するように設計されています。高度な光学技術と校正技術を搭載しており、常に正確な露出を実現しています。また、汚染防止に役立つ耐汚染性気流モデルも搭載しています。また、最大の安全と保護のための安全インターロックとアラームを備えています。