中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 4/6 #9258606 を販売中
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ID: 9258606
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1993
Mask aligner, 6"
Substrates, 6" x 6"
M206 / M236 Split field microscopes
Objectives: 5x, 10x, 20x
Eyepiece Magnification: 10x
Micrometer spindles
UV Ranges with optimized diffraction reducing systems
Splitfield topside microscope with turret
C-Mount for IR camera adaption
Alignment stage with loaded IR chuck
IR Illuminators and tube stage for target positioning
IR Tubes
Spare parts
Tool kit
X-Drive
IR Tool:
Chuck
Maskholder
Spacers for maskstage clamp
Stage:
X, Y Theta
Z Alignment
Wedge error compensation
Microscope manipulator with adapter
Movement synchronized with alignment
Lamp house LH 1000: 350 W / 1000 W lamp
With optical tube and mirror house / Eclipse mirror
CRT Display
Serial dialog operator interface
Substrate size: 1" x 1" - 4" x 4", Pieces
Mask size: 7" x 7"
Exposure system:
Vacuum contact and proximity
Gas separation: 0-90 um
Gas adjustment resolution: 1 µm
Contact pressure: 0.02 - 1.0 N/cm²
Exposure optics:
Wavelength / Range / Source
UV400 / 350 mm - 450 mm / 1000 W Hg
UV300 / 208 mm - 350 nm / 1000 W Hg
Alignment:
Top Side Alignment (TSA)
Accuracy: TSA down to 0.5 µm
Back side alignment
Accuracy: BSA down to 1.5 µm
Alignment stage:
Alignment range X: ±5 mm
Alignment range Y: ±5 mm
Alignment range θ: ±3°
Mechanical resolution XYθ: 0.05 μm
UV400 With high peak intensity at 365nm and 405 nm
Exposure area: 6"
CIC500 for 350W HBO
Maximum intensity at 365nm: 19 ±4% mW/cm²
Maximum intensity at 405nm: 30 ±4% mW/cm²
Power supply: 110 V / 220V, 50/60 Hz, 1500 W
1993 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 4/6は、マイクロスケールや大型の特徴を基板にパターン化するための高精度な方法を提供する汎用マスクアライナーです。この高度な技術は、プリント基板から金属酸化物半導体（MOS）製造まで、あらゆるアプリケーションにとって重要な複雑なパターンを作成するのに役立ちます。MICROTEC MA 4/6は、±2µmから±20µmまで幅広いアライメント精度を備えているため、複雑で高度なパターンを作成する際に最高水準のアライメントに到達できます。この設計には、ナノリソグラフィー用途にとって重要な要素であるパターニングフィールドの最適な位置決めと操作を提供する12軸の位置決め装置も含まれています。KARL SUSS MA 4/6には、長寿命のエアバブルフリーのバブルシステムが搭載されており、光学系とウェーハテーブルの総安定性を提供し、長年の動作にわたって最高レベルの繰り返し可能な結果を提供します。レンズイメージングは、長寿命で低消費電力の高NA光学システムによって提供されます。これには、20µmの直径から30µmまで調整できる可変視野が含まれます。さらに、カールサス/マイクロテックMA 4/6は、オンユニットサポート、ユーザーフレンドリーなフロントパネルメニュー、および使いやすさを確保するためのPC統合を提供します。フロントプリアライメントモジュール、画像解析機能、パーティクルモニタリングツールも装備しています。露出したウェーハ表面は寸法精度を測定し、パターンとの正確なアライメントを確保します。また、アセット内のガスの蓄積を防止するアクティブガスパージングシステム（Sep-PurgeやTurboPurgeなど）もあり、厳しい動作条件を保証します。結論として、MICROTEC MA 4/6は、正確なイメージングを必要とするさまざまな用途に適した高精度マスクアライナーモデルです。その精度の範囲、12軸位置装置、長い寿命のバブルシステム、および優れた光学系は、ナノリソグラフィ用途に最適なソリューションです。また、プリアライメント、画像解析、オンユニットサポート、PC統合、パーティクルモニタリングなどの機能も備えており、使いやすさと高精度な結果が得られます。
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