中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 4/6 #9249041 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 4/6は、ウェーハ上にパターンを作成するためにフォトレジストで覆われたウェーハでリソグラフィーマスクを調整するために使用されるマスクアライナーです。MICROTEC MA 4/6は、集積回路（IC）の信頼性、精度、再現性を高めるために特別に設計されています。この装置は、高精度かつ自動化されたアライメント技術を使用して、ICのパターン化のためのマスクを正確に操作および位置決めします。KARL SUSS MA 4/6マスクアライナーは、ウェーハテーブル、マスクテーブル、光学エンコーダのペア、ビジョンと検査システム、および制御ユニットの5つの主要コンポーネントを備えています。ウェーハテーブルはウェーハを保持するように設計されており、ウェーハを固定し、X、 Y、 Z軸で操作できるように、空気圧駆動の真空カップを装備しています。マスクテーブルは、マスクを保持するように設計されており、統合された自動マスクローダーが含まれています。光エンコーダは、ウェーハとマスクの動きと位置合わせを正確に測定するのに役立ちます。視覚および検査ユニットは、マスクとウェーハの完全性が維持され、パターンが適切に実行されることを保証します。最後に、制御ユニットはハードウェアとソフトウェアを提供し、ウェーハとマスクテーブルに正確な位置決めを指示します。MA 4/6マスクアライナーは、最大10マイクロメートル（µm）の校正済みアライメント精度を備えており、ナノメートルスケールの精度に適しています。さらに、アライメント精度は3点校正機で調整され、最適なアライメントが可能です。この3点キャリブレーションツールは、マスクを参照するために使用されるウェーハ上の永久マークである3つのフィデューシャルマークを使用して、X軸とY軸の独立したアライメントを提供します。また、ウエハ検査モデルを内蔵しており、露出前後のウエハ検査を行っています。この検査は、コントロールユニットの画面に表示され、さまざまなパラメータにアクセスして再現可能な精度を確認できます。さらに、KARL SUSS MA 4/6マスクアライナーは、直感的でアイコン駆動の直感的なユーザーインターフェイスを備えており、初めてのユーザーでもユーザー操作とセットアップを簡素化します。ICレイアウトからウェーハにパターンを転送するために使用されるコンピュータ支援設計（CAD）インタフェースもあります。このプログラムはカスタマイズ可能でプログラム可能であり、ユーザーの仕様に応じてカスタマイズされた操作を可能にします。MA 4/6マスクアライナーの他の機能には、高度な画像処理、低ランニングコスト、および低い床面積の要件があります。このマスクアライナーは、小規模生産と大規模生産の両方に適しており、ICの大量生産を正確で信頼性が高く再現可能にするように設計されています。直感的なユーザーインターフェイス、プログラムされた機能、高度なアライメント精度を備えたKARL SUSS/MICROTEC MA 4/6マスクアライナーは、初めてのユーザーでも確実に使用できます。