中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 4/6 #293828140 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 4/6は、高速アプリケーションプロトタイピング、小型バッチシリーズ生産、研究開発のための高度なプロセスコントロールと精密アライメントを組み合わせたマスクアライナーです。この機械的で高精度なマスクアライナーは、1ミクロン以上の位置決め精度を持ち、広範囲にわたって優れた登録が可能です。また、8X8インチのフィールドサイズを備えているため、大型パターンアプリケーションに適しています。MICROTEC MA 4/6は、独立したX、 Y、 Thetaモーターとデジタル位置ディスプレイを組み合わせたSUSS MICROTEC X-Y-Thetaアライメント装置（XYT）を搭載しています。これにより、複数のマスクの正確かつ再現可能なアライメントが可能になり、分解能を損なうことなくアライメント時間を短縮できます。XYTシステムは、自動化されたアライメントモードと手動のアライメントモードの両方を提供し、2つの画像を直接比較して微調整することができます。KARL SUSS MA 4/6は、直径2〜8インチのさまざまなウェーハサイズを使用することができ、最大6つのウェーハに対応できます。調節可能なウェーハクランプユニットと、高速ローディングとアンロードのためのウェーハローダーシャトルを備えています。ウェーハキャリッジは、正確さや再現性を損なうことなく、マスクの積み込みと交換が容易なように設計されています。MA 4/6は、重要なフォトリソグラフィ用途向けに設計されています。He-Neレーザーアライメントマシンと顕微鏡を内蔵しており、マスクの自動アライメントとウェーハへのマスクの自動フォーカスの両方を提供します。これにより、最高の精度と再現性が保証され、自動インデックス機能によりデータセットの切り替えが容易になります。KARL SUSS/MICROTEC MA 4/6は、露出再現性、高い透明性、1ミクロン以上のエッジ配置精度、50ミクロン以上のリフティング機能など、複数の制御機能を備えています。プロセス制御には、露出とエッチング時間を含む6つの可変パラメータを備えた高度なプロセス制御ツールが含まれています。そのユーザーフレンドリーなソフトウェアは、自動ロードデータ、マスクライブラリ、レシピ設定、ウェーハのトレーサビリティなどの柔軟性と機能も提供します。結論として、MICROTEC MA 4/6は、高速プロトタイピングおよび研究開発のための優れた登録と効率的な処理が可能な高精度のマスクアライナーです。その高度なデザインとアライメントのアセットだけでなく、ユーザーフレンドリーなソフトウェアは、さまざまなフォトリソグラフィーアプリケーションに最適です。