中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 25 #293732512 を販売中

ID: 293732512
ウェーハサイズ: 3"-4"
Double sided mask aligner, 3"-4" Mask, 5".
KARL SUSS/MICROTEC MA 25マスクアライナーは、基板やウェーハ上の複雑な集積回路レイアウトを高精度に加工するために設計された最先端の精密リソグラフィ装置です。フォトレジストを最大5ミクロンの解像度で様々な光学リソグラフィックパターンに整列させて露出させることができます。このマシンは、非常に高いスループットと再現性のある結果を提供することができ、生産目的に適しています。MICROTEC MA 25は完全にコンピュータ制御された機器で、バンドルされたMICROTECコントロールソフトウェアを介してアライメントと露出プロセスを自動化および制御することができます。このソフトウェアは、アライメントパターン生成、パターン認識、パターン移動、フォーカス調整など、効率的なアライメントと露出プロセスに必要なツールも提供します。KARL SUSS MA-25は、さらに高い精度のアライメントを実現するために使用できるさまざまなアライメント顕微鏡をユーザーに提供します。MICROTEC MA-25はまた、基板サイズ、露光時間、露光強度の面で優れた柔軟性を提供し、広範囲のフォトレジストや材料を正確に露光する能力を提供します。直径6インチまでのウェーハを加工し、フォトレジスト、酸化物、導体、ポリマー層など幅広い層を処理できます。このシステムは、基板の同時露出のために最大4〜6インチの露出マスクを保持します。MA-25の優れた性能に加え、安全性も重視しています。機械にすべての部品の安全状態を点検する自己監視機械があり、運転中の事故の危険を減らすのを助けます。さらに、内蔵の安全インターロックは、運転中の危険物の暴露から最大限の保護を提供します。全体として、KARL SUSS/MICROTEC MA-25マスクアライナーは、高精度、高性能、柔軟性を提供するため、大量生産に最適です。自動化されたアライメントと露出プロセスにより、回路レイアウトやフルカラーのリソグラフィからデバイスのテストまで、信頼性の高い費用対効果の高いソリューションとなります。堅牢な機能と安全プロトコルを備えたMA 25は、複雑な集積回路レイアウトを作成するために不可欠なツールです。
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