中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 25 #293601585 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 25は、さまざまなアプリケーションにフォトリソグラフィ機能を提供するベンチトップマスクアライナーです。半導体デバイスの試作・評価、プロセス開発研究に最適です。高度な露光光学、精密モーションステージ、直感的なオペレータインターフェースを使用して、高速で反復可能な結果を提供します。MICROTEC MA 25には、特殊用途向けに角度付きおよび円形の照明に使用できる光学ヘッドが装備されています。特許取得済みの3。2nmラスタリングシステムにより、高精度で正確なアライメントが可能です。光学系のレイアウトは、マイクロメートルからミリメートルまでのさまざまな基板に適しており、作業距離は8インチ（20。3 cm）を超える。KARL SUSS MA-25には、古典的な接触印刷や近接印刷など、さまざまな露出技術があります。強度制御とパルスパターン露出も可能です。さらに、可変線量制御とプログラマブルエネルギーランプ機能を備えています。これらの機能により、正確なアライメントと露出を確保し、最大40倍低い線量制御でプロセス制御を改善します。KARL SUSS/MICROTEC MA-25は、少量生産と大量生産の両方のために設計されており、幅広いマスクや基板に対応できます。Z軸の焦点距離を持ち、ディスクリートデジタルサーフェススキャンで50マイクロメートルまで焦点を合わせることができます。また、調整可能なマスク間ウェーハギャップと一定のスキャンレート追跡精度を備えています。ユーザーの安全性を最大化するために、MA-25には完全なエンクロージャがあり、微粒子や他のソースからの汚染を排除するのにも役立ちます。エンクロージャにはアクティブ冷却機能があり、システムのピーク性能を維持し、過熱による潜在的な損傷を最小限に抑えます。全体として、MICROTEC MA-25は、さまざまなフォトリソグラフィ用途に最適です。高精度で信頼性が高く、最も正確なアライメントと露出設定のための最新の露出技術を備えています。