中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 24 #9382957 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 24は、半導体製造プロセスで使用される高度なマスクアライナーです。このツールは、EBR （Electrically Blanked Resistors）とレーザー光を使用して、マスクやウェハ上にリソグラフィックパターンをインプリントするために使用できます。このマシンは、マスクを回転させるために1軸を使用する高精度の2軸座標テーブルとアルミニウム真空チャックを備えています。テーブルは400 rpmまでの速度および5ミクロンまでの繰り返し可能性に達することができます。また、アライメントプロセスの精度を高める高性能レーザビームスプリッタを搭載し、ステップサイズを1。5ミクロンまで調整することができます。MICROTEC MA 24のアライメントプロセスは高度に自動化されています。レーザーはマスクの位置を検出するために使用され、アライメント精度は2つの光学センサーで得られます。これにより、マスクとウェーハのアライメントが高精度になります。レーザーマーク検出は、プロセス内の複数のレイヤーを整列させるためにも使用されます。機械は高精度な機器であるため、他の類似のアライナーよりも人間の監督が少なく、時間とお金の面ではるかに効率的です。また、オゾンを生成しないため、安全に使用できます。KARL SUSS MA 24には、任意のリソグラフィ操作にリンクできるホストコンピュータがあります。また、ユーザーにアラインメントの包括的なデータレポートを提供し、操作をより良く制御することができます。結論として、MA 24は高精度で効率的な高度なマスクアライナーです。高精度、最小限の人間監督、安全な操作、包括的なデータレポートなど、さまざまな機能を提供します。エレクトロニクス業界で使用される半導体製造に最適です。