中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 24 #9246069 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 24は、MICROTEC社とKARL SUSS社の高度な自動化マスクアライナーです。この機械は半導体産業のフォトリソグラフィのプロセスのために使用されます。光アライメントを使用して、さまざまな用途のマスクやウェーハを正確に配置します。MICROTEC MA 24は、1.2µmの位置精度、自動XYWマスク搬送機能、精密なUVベースのレーザーリソグラフィを備えたin-situステッパーを提供し、微細構造化された半導体デバイスの製造に最適です。このマシンには、画像解析、コンピュータ支援ウェーハ表面認識、データ解析、リアルタイムウェーハ位置フィードバック、プロセス監視および制御など、さまざまな高度な機能を装備できます。KARL SUSS MA 24は、伝統的なデジタル光学センサーとハイエンド光学センサーの両方を使用した高効率であり、最大3つの独立したカメラシステムを備えています。また、高度な照明窓、色補償器、ガンマ設定を備えた内蔵のビジョン機器を備えています。このシステムには、すべての光学部品が常に準備ができていることを確認するために、エアフィルターユニットと真空保護されたレンズマシンもあります。MA 24は、ウェーハのシーケンシャル配置とパターニングのために、シングル、ダブル、クワッドの3種類の露出モードをサポートしています。また、高解像度UVレーザーリソグラフィにより、15nmのサイズの微細構造を製造できます。このツールは、アライメントプロセスの無制限の段階を提供する15µmの解像度で動作します。KARL SUSS/MICROTEC MA 24はまた、高度な資産柔軟性を提供します。加熱されたステージプレートが含まれており、最大9種類のマスク平面角度設定が可能です。さらに、オーバーレイ制御測定、サイクルタイム短縮、ネガパターニングモードなどの特別なオプションも備えています。また、MICROTEC MA 24にはオートメーションモデルがあります。ソフトウェア、タイマー、ロボットアームが含まれており、ウェーハやマスクを機械にロード/アンロードできます。このマシンにはオートステーションセレクターも搭載されており、異なるウェーハ、マスク、露出面をすばやく切り替えることができます。KARL SUSS MA 24マスクアライナーは、高度でユーザーフレンドリーな装置で、精度の高い洗練されたマイクロストラクチャーを製造するのに最適です。それは優秀な性能を保障するために最も最近の技術および特徴を特色にします。幅広い機能を備え、高品質の半導体デバイスを製造するのに最適なツールです。