中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-210 AA #293654297 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA-210 AA Mask Alignerは、さまざまな電子デバイスを作成するリソグラフィープロセスで使用されるハイエンド機器です。フォトマスクの製造に使用され、半導体ウェーハ上で高精度なパターンを作成するために使用されます。MICROTEC MA-210 AAマスクアライナーには、UV映写装置と2次元（XY）ステージの2つの主要コンポーネントがあります。UVプロジェクションシステムには、DUV光学楕円反射器、電源ユニット、および密閉されたUVエキシマレーザーが含まれています。レーザーは248ナノメートルの波長の光を生成し、反射器によってコリメートされ、目的のウェーハ層に投影できるフォトマスクの正確な画像を生成します。画像サイズは0。25mm〜12mmで、解像度は0。25 μ mです。顕微鏡も付属しており、マスクとウェーハ層の高精度なアライメントを実現する10倍から50倍の倍率を実現しています。KARL SUSS MA-210 AAマスクアライナーのXYステージは、DCモーターで駆動され、3つの手動/自動動作モードを提供します。手動モードでは、ステージはジョイスティックとデジタル表示で手動で制御でき、最大0。2mmの精度を提供します。自動モードでは、ステージは0。1mmの再現性と精度で、さまざまなジョブにプログラムすることができます。また、マスクやウェーハ層の高精度アライメントには、反射レーザー光を使用して検出するオーバーレイ測定ユニットも用意されています。AAマスクアライナーMA-210、電子的に変調することができる3つのV溝システムを備えた自動ウェーハアライメントマシンを備えています。統合されたウェーハリフトツールにより、最大200mmまでの直径を持つ最大200個のウェーハの効率的な積み下ろしが可能で、リソグラフィープロセスの高効率と生産性を実現します。KARL SUSS/MICROTEC MA-210 AA Mask Alignerは、プログラマブルコンピュータインターフェースを備えており、レーザー出力や検出器信号など、アライナーのあらゆる側面をソフトウェアで制御できます。UV光学アセット用シャッターなどの安全機能や、アライナーの不正使用を防止するためのインターロックモデルが含まれています。要するに、MICROTEC MA-210 AA Mask Alignerは、半導体デバイスの製造に使用される高精度フォトマスクを作成するための高度なツールです。高度なUV投影装置、2次元XYステージ、自動ウェーハアライメントシステム、プログラマブルコンピュータインターフェイスを備えています。カールSUSS MA-210 AAマスクアライナーは、再現性と精度だけでなく、多くの安全機能を提供することで、半導体部品の製造に貢献することができます。