中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200E #9227902 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 200Eマスクアライナーは、サブミクロンデザインレイアウトのアライメントおよび転送用に特別に設計された精密ウェーハアライメント装置です。MICROTEC MA 200Eは、半導体製造、光学組立、MEMS製造など、1um以下の基板特性を必要とする幅広い用途で使用される世界をリードするシステムです。このユニットは、高度な顕微鏡と高精度のステージモーションにより、接触と非接触の両方のウェーハアライメントを提供します。KARL SUSS MA-200Eは、高性能光学機械を搭載しており、1umのアライメント分解能、最大400mm/secの高速化、高度な登録および測定機能のためのCADソフトウェアと統合できる高度な顕微鏡ツールなどの最先端の機能を備えています。このアセットには、ウェーハを正確に登録するための自動化された広い視野画像キャプチャモデルも備えています。さらに、非接触ウェーハエッジアライメント、パターンベースのアライメント、バーチャルアライメントなどのアライメント機能も統合されています。また、ウェーハアライメントに加えて、プロジェクトマスターからウェーハへサブミクロン設計レイアウトを効率的かつ正確に転送することが200Eます。この効率的かつ正確な転送は、真空チャックシステムと転送厚さ制御光学ユニットによって可能になります。真空チャックマシンは、84kPaまでの真空レベルを使用して、マスターをウェーハに正確に配置するのに役立ちます。移動の厚さ制御光学用具は移動の厚さが± 0。01ミクロンの正確さと維持されることを保障します。MA-200Eには、いくつかの自動機能も含まれています。これには、完全に自動化されたアライメントおよび転送プロセス制御機能と、欠陥検出用のレーザーパターンが含まれます。自動化されたプロセス制御機能により、正確で再現性の高いアライメントと転送結果が保証されます。また、レーザーパターンにより、最大0。15ミクロンの精度で自動欠陥検査が可能です。MA 200Eは、高度な機能を備えた高度なウェーハアライメント資産であり、高精度を必要とするさまざまなアプリケーションに適しています。このモデルは、すべてのアライメントおよび転送アプリケーションに対して高性能、オートメーション、および精度を提供します。