中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9395433 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、サブミクロン範囲の基板の定性アライメントおよびフォトリソグラフィに使用されるフルフィールドプロジェクションアライナーです。この装置は、さまざまな材料、基板、用量、および機能サイズを扱うのに最適で、さまざまな研究、開発、および生産アプリケーションに最適です。MICROTEC MA200は、ワイドフィールドイメージングオプティクスとフィールド均一性を使用して各基板を迅速かつ正確に整列させるユニークな非スキャナーアライメントシステムを備えています。これにより、フォトマスキングおよびエッチング工程の基板を正確に登録できます。KARL SUSS MA-200内のハイエンドアライメントユニットは、デジタルイメージングとマスクの精密な線形および回転制御を使用して、フォトマスクと基板の正確なアライメントを保証します。このマシンは、マイクロエレクトロニクスやMEMSに見られるように、小型で複雑な設計のアライメントに重要な最適なオーバーレイマッチングを容易にするために最適化されています。KARL SUSS MA 200の特徴サイズは最小限で、0。2 mrad程度の角度での正確なアライメントが可能です。この機能サイズは多くの商用アライナーで見られますがMA200非常に小さな機能を正確かつ正確に整列させる機能には特に有利です。KARL SUSS MA200は自動化され、マルチウェアパーツとユーザー交換可能な光学系が付属しているため、ユーザーは最高品質の基準を維持しながら運用コストを削減できます。この自動搬送ウエハハンドリングツールは、基板やマスクの迅速な積載を可能にし、フォトリソグラフィに必要な時間を短縮します。自動メンテナンスアセットは、すべてのコンポーネントから最適なパフォーマンスを保証し、手動メンテナンスの必要性を低減します。MA-200は、重要な機能を正確かつ正確にアライメントするための最先端の機能を提供します。そのノンスキャナ技術、広域画像光学、敏感なデジタルイメージングおよび制御システムは、ユーザーが一貫して優れた結果を持つ高品質のマスクを作成することができます。高度な技術と信頼性の高い性能の組み合わせは、研究、開発、生産アプリケーションに最適です。