中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9394463 を販売中

ID: 9394463
Mask aligner No BSA.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)デバイスの製造に使用されるコンピュータ化マスクアライナーです。フォトリソグラフィープロセスを介してパターンが正確に形成されるサンプル表面と単一のマスク上のデザインパターンを正確に揃えるために使用されます。MICROTEC MA200はメインフレームとマスキングとアライメントステーションの2つの主要コンポーネントで構成されています。メインフレームには、すべてのエレクトロニクス、モーションコントロールシステム、および4。3インチの超高解像度LCDモニターが搭載されています。マスキングおよびアライメントステーションには、テレセントリックd30/80ズームレンズと+0。7ミクロン精度の水平/垂直アライメントを備えたQuick-Align Quad Microscopeなどの光学部品が含まれています。また、アライメント操作を制御するための「ウィザード」インターフェイスもあります。KARL SUSS MA-200には、信頼性の高い効率的なMEMS処理ツールを実現するいくつかの機能があります。最大135 µm/secの高い加速と高速により、マスクを迅速かつ正確に整列させることができます。それは速く、精密な光学のセットアップを可能にする段階的な焦点の調節のノブを備えています。さらに、アライナーには、衝突防止センサー、安全インターロック用の外部インターロックポート、緊急停止スイッチなど、いくつかの標準的な安全機能があります。KARL SUSS/MICROTEC MA200は、さまざまなサイズ、形状、複雑さのオブジェクトの正確なアライメントを提供する、信頼性の高いフォトリソグラフィーシステムのポートフォリオです。このシステムは、優れた画像解像度を提供し、優れた焦点深度を保証し、高解像度(0。1ミクロンの精度)を提供します。また、複数のタスクのための複数のヘッドと簡単な操作のための人間工学的な設計を提供しています。さらに、アライナーは自動キャリブレーションを備えており、処理時間を短縮し、シャープな画像のための可変強度の照明を提供します。全体として、KARL SUSS MA200はMEMS処理のための高度で効率的なツールです。
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