中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9391659 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC MA 200
ID: 9391659
Mask aligners.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、集積回路および関連するマイクロエレクトロニクス部品を製造および処理するために設計された精密マスクアライナーです。主に半導体デバイス用にドライレジスト層をフォトリソグラフィックでパターン化するために使用され、幅広いチップ機能を微調整して性能を最大限に高めることができる汎用性の高いツールです。MICROTEC MA200は、コンパクトなボディと、信頼性と安全性を確保するために必要な堅牢な安全機能を備えた、完全に自動化されたプロセスを備えています。この機器には、プログラム実行、自動パターン認識、およびアライナー操作の正確な制御を可能にする高度なPLCコントローラが装備されています。また、露光時間、フォーカス、アライナー速度、サイズなどの必要なパラメータを手動で自動入力できるユーザーインターフェイスも備えています。システムは高度な光学系で設計されています。可変出力の高度なハロゲンランプを含む光学基板を取り付け、レジスト層の露出均一性と均一性を確保します。また、光学基板にはフォーカスコントロールが装備されており、アライメントプロセスの微調整が可能です。マスクアライナーは、アライメントプロセス全体にわたって一貫した動きを確保するために、統合された空冷精密ステッピングモーターでさらに設計されています。KARL SUSS MA-200は、基板、ペリクル、パターンの広い範囲に対応するために、大きな作業エリア(5x5 mmまで6x12 mm)を持っています。35mmフィルムアダプタを内蔵しているため、必要に応じてフィルムネガまたはフィルムポジティブを使用してパターンを転送できます。パターンサイズ、およびアライナーの速度と解像度を手動で調整できます。MA 200には、露出プロセス中に温度の均一性と安定性を確保するための温度制御チャンバーが内蔵されています。また、露出時間、フォーカス、アライメント速度、露出面積などのパラメータを制御し、最適な動作を保証する多段オートメーションユニットを備えています。この機械には、粒子の汚染から保護するための安全シールドが内蔵されています。MICROTEC MA-200は、マイクロエレクトロニクス部品の製造に不可欠なツールです。堅牢な設計と高度な機能により、レジストレイヤーの完璧なアライメントで高い整合性コンポーネントを簡単に生成できます。高品質な結果を費用対効果の高い効率的な方法で達成するために探している人のための信頼できるソリューションです。
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