中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9381588 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、オプトエレクトロニクス、IC、 MEM、薄膜デバイス製造でパターンやフォトリソグラフィを作成するために使用される高精度マスクアライナーです。高解像度ステッピングステージを備えており、接触穴、絶縁素子、ビア、さらには大型回路を備えたデバイスの正確なアライメントを可能にします。MICROTEC MA200の光学機器は、照明付き4ミクロンのレチクルとクイックステッピングガルボスキャナを使用して、1 µmの精密な解像度を実現しています。光源はハロゲンランプで素早い露光時間を実現し、基板全体に均一な照明フィールドを提供します。収集された光はモノクロメータを介してルーティングされ、周囲光を低減し、サンプルの表面全体で均一な周波数を保証します。KARL SUSS MA-200は、ステンレス製の堅牢なハウジングと15°C〜25°Cの室温範囲、湿度10％〜80％の湿度範囲を備えています。また、自動ウェーハハンドリング、基板へのアクセスに役立つ電動ドア、真空密閉チャンバーも装備しています。アライナーには、基板とレチクル間の接触を維持するために圧力をかけながらサイトの高さを調整できるオートフォーカス・システムも含まれています。これにより、特にエッチングされた小さな機能の整列に関しては、より高いレベルの精度を達成することが容易になります。KARL SUSS MA 200のテンプレートアシストマスキング機能により、追加のツールなしで、異なる基板またはパターンの切り替えを高速化できます。また、分光反射測定ユニットを内蔵し、デバイスの特徴の暗さとコントラストを監視し、生産サイクルのチューニングを支援します。内蔵の通信機により、EthernetやRS-232などの標準インタフェースでプログラミングが可能です。MA200は、IC、オプトエレクトロニクス、薄膜デバイス、MEM製造に最適な高精度マスクアライナーです。その高性能オプティクスとオートフォーカスツールは、基板とレチクルの完璧なアライメントを保証します。また、テンプレート支援マスキング、分光反射測定、通信機能も備えています。これらのすべての機能により、MICROTEC MA 200は高精度デバイスの生産に最適です。