中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9381586 を販売中

ID: 9381586
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1989
Mask aligner, 8" 1989 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200マスクアライナーは、半導体加工に使用されるアライメントおよびリソグラフィ装置です。ウェーハ上に集積回路(IC)デバイスやその他の電子部品を作成するために使用される高精度、高スループットツールです。MICROTEC MA200は、標準的な光学および位置決めシステムを使用して、デバイスマスクをウェハに正確に配置します。KARL SUSS MA-200に採用されているマスキング技術は、表面イメージング強化シャドウ投影(SIE-SP)です。この技術により、数十分の1マイクロメートルまでのマスクオーバーレイアライメントの高精度が保証されます。マクロ粒子マスキングフィルタは、光学エネルギーの広い範囲で3Dマスク設計を作成します。さらに、MPI (Micro-Particle Imaging)機能は、マスク設計から粒子を除去するのに役立ちます。自動化されたウェーハアライメントユニットにより、0。5ミクロンの精度と0。25ミクロンの再現性を実現します。また、ウェーハプロセスのエンドポイントを高精度に検出・分析できる内部エンドポイント監視機を備えています。MA200は、シリコン、ゲルマニウム、ガリウムヒ素、および絶縁体(SOI)上のケイ素を含む多くの種類の材料をパターン化することができます。これにより、レイヤーを追加するだけで非常に複雑なマスクを簡単に作成できます。KARL SUSS/MICROTEC MA-200は導入以来、半導体製造において最も人気のあるマスクアライナーの1つであり、そのシンプルさとその高度な機能は、小型で複雑なデバイスを作るのに最適です。MICROTEC MA 200は、消費電力と熱安定性の点でも非常に効率的です。MA-200は、クラスで最高の精度と速度比を提供する汎用性と堅牢なマスクアライナーです。医療画像、通信、自動車エレクトロニクスなど、多くの複雑な用途で高品質のデバイスやICを製造するために使用されます。先進的な機能とデバイスマスクをウェーハに正確に合わせる機能を兼ね備えたKARL SUSS/MICROTEC MA200は、あらゆる半導体加工アプリケーションに最適です。
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