中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9373260 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、半導体基板やフォトマスクを含む目的の表面にパターンを正確に配置して転送するために使用されるマスクアライナーです。マスクアライナーは0。2マイクロメートルまで特徴を整列することができ、場合によっては数百マイクロメートルである特徴をオーバーレイし、整列する機能を備えています。このマシンは非常に正確で効率的であり、基板上の特徴の非常に特定で繰り返し可能なアライメントを可能にします。この機械自体は、XYステージ、基板とマスクの位置合わせに使用される4軸マニピュレータ、最小分解能0。5マイクロメートルの明るいフィールドと暗いフィールド顕微鏡で構成されています。マシンは、ユーザーが配置ポイントをプログラムし、マシンを制御することができますコンピュータシステムに組み込まれています。プログラマブルなアライメント機能は非常に正確で、円から円、長方形から長方形、円から線までの幅広いアライメント操作を可能にします。マシンにはレーザーダイオードアライメントも含まれており、レーザーを使用してマスクと基板の正確なアライメントのための基準点をユーザーに提供します。MICROTEC MA200のユーザーは、マシンの4つの軸を同時に制御し、基板とマスクの位置を自動または手動で調整することができます。ユーザーにまた基質および装置に従って機械の露出を調節する機能があります。KARL SUSS MA-200は、基板にパターンを素早く正確に転送する方法を提供するため、半導体業界で広く使用されています。機械は速く、有効、ユーザーが移動の高精度そして精密を維持しながら高い収穫および低い回転時間を達成することを可能にします。さらに、レーザダイオードのアライメントにより、マスクと基板を整列させる際に高い精度を得ることができ、パターンの転送が正確で再現性があることを保証します。