中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9356073 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC MA 200
ID: 9356073
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 1995
Mask aligner, 6"-8" 1995 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、幅広いフォトリソグラフィ用途に対応できるように設計された精密マスクアライナーです。精密なアライメントで高品質な画像を生成することができます。MICROTEC MA200は、半導体デバイスの製造、高度なオプトエレクトロニクス、およびMEMSの分野での量産、プロトタイピング、研究に最適です。KARL SUSS MA-200は、基板チャック装置を使用して、被曝ステージに基板とその望ましいマスクを固定します。180mm x 120mmの精度ステージは、2つの間で正確かつ再現性のある登録を可能にします。これにより、0。005 umまでの微細な形状の正確なアライメントが可能になり、精度は0。5 umです。6。0インチ(152。4mm)の最大露出面積は、ガントリー全体で使用可能なフィールドを拡大します。KARL SUSS/MICROTEC MA200は、信頼性の高いソリッドステートキセノンランプを使用して、基板上に均一な光場を提供します。このランプには、複数の波長の露出オプションを作成するためのフィルターホイールも装備されています。さらに、ユニットにはシャッターコントロールが内蔵されており、幅広い露出エネルギーを可能にします。さらに、独立した散乱シャッターは、露出中の望ましいエネルギーレベルを形成するオプションをユーザーに提供します。温度制御のため、KARL SUSS MA200は、プロセス全体で一貫した温度を確保するために、ペルチェ冷却システムを標準装備しています。これにより、幅広い材料で信頼性の高い再現性を実現します。さらに、ガスフィルター/清浄機ユニットを装備し、入出力ガスを浄化し、汚染を最小限に抑えます。MA 200では安全性が優先されます。工具が稼働しているときに機械が自動的に安全機能に従事します。MICROTEC MA 200を実行する際には、使用時に危険な紫外線を発生させるため、目の保護が不可欠です。さらに安心のために、資産には、常に人員の安全を確保するための専用の安全インターロックが付属しています。MICROTEC MA-200は非常に優れた機械であり、あらゆるフォトリソグラフィ用途に正確なアライメントと再現性を提供します。研究、開発、製造に最適なMA200は、正確なフォトリソグラフィを必要とするプロジェクトにとって信頼性が高く効率的な選択肢として際立っています。
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