中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9298780 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC MA 200
ID: 9298780
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2013
Mask aligner, 8" 2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200マスクアライナーは、集積回路の製造におけるフォトリソグラフィープロセスに使用される最先端のツールです。MICROTEC MA200は、他のオールインワンマスクアライナーと比較して優れた精度と再現性を提供し、デバイスの歩留まりと精度が重要な生産アプリケーションに最適です。KARL SUSS MA-200は「基板処理用のXYテーブル」を利用しています。これにより、デバイスは、リソグラフィ処理中に基板をX-Y平面に正確に配置することができます。さらに、ヘッドMA-200使用して基板の厚みを自動検出し、それに応じてアライメントを調整する「Auto-Z」機能も備えています。これにより、人間が入力したエラーを最小限に抑え、リソグラフィ処理が正確に実行されることを保証します。さらに、MA 200マスクアライナーは、リソグラフィーサイクル中に基板を確実に保持する統合真空チャンバーを備えています。外力による基板の動きを防ぎ、プロセスの精度と再現性を確保します。MICROTEC MA-200には、ユーザーがアライメントとステップと繰り返しサイクルを自動化し、処理時間を短縮できる機能もあります。システムは、主にWindowsベースのソフトウェアを実行している外部PCを介して制御されます。これにより、KARL SUSS/MICROTEC MA200は、PCを介してすべての設定と調整を操作できるため、使いやすくなります。このPCはまた、ハードディスクにすべてのプロセスの詳細を保存し、デバイスパラメータ、基板、露出レシピを含むすべてのフォトマスクデータの効率的な再現性とトレーサビリティを可能にします。最後に、マスクアライナーMA200密閉されたUV光源を使用して、ハードとソフトの両方のUVリソグラフィを実行することができます。これにより、プロトタイプ開発と生産量の両方を実行するための汎用性の高いツールとなります。全体として、KARL SUSS MA 200は信頼性の高い正確なマスクアライナーであり、既存の生産ラインへのさまざまな統合に適しています。優れた再現性、包括的なユーザーマネジメントシステムを有し、ハードとソフトの両方のUVリソグラフィ機能が可能です。
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