中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9266484 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、その高度な機能と使いやすさで特に際立っている精密マスクアライナーです。MICROTEC MA200は、マイクロメカニカル、マイクロ流体、マイクロ光学、半導体プロセスなど、さまざまなフォトリソグラフィーニーズのために設計されました。KARL SUSS MA-200は、高度なイメージングの最適化、オーバーレイ精度、線量制御、同じツールスイッチング、温度、真空、クリーニングの統合監視など、フォトリソグラフィ機能のフルレンジを提供します。ユーザー入力を最小限に抑える数多くの自動化された機能を備えており、正確なアライメントと再現性を必要とするユーザーにとって理想的な選択肢です。KARL SUSS/MICROTEC MA200は、高度にカスタマイズ可能なユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーは最高の精度で操作を制御することができます。セラミックプレート、加熱プレート、モーターマスク、ウェーハなど、最適な基板処理のための多数のプラットフォームオプションが装備されています。6インチおよび8インチウェーハに対応可能で、0。25ミクロンのオーバーレイ精度、0.05µm/min露出速度、最大書き込みフォーマットは100 x 140mmです。KARL SUSS/MICROTEC MA-200は、精密測定システム、高解像度光学、洗練されたテーブルドライブシステム、温度制御などの高度な技術を備えた完全自動レーザーアライナーとマシンです。SUSSアドバンテージレーザーアライメントシステムを採用しており、マスクを持ち上げることなく、ウェーハ上にマスクを正確かつ正確に配置できます。電子制御された軸モータにより、アライナーのテーブルドライブがアライメントプロセスと完全に同期し、比類のない精度を実現します。MA200には、すべてのアライナパラメータとスループットデータを格納する統合ハードドライブがあり、簡単な参照とアクセスを可能にします。さらに、SEMI PV3000インターフェイスと互換性があり、他の機器との自動データ交換が可能です。また、MA-200はCEとECの両方に準拠しており、産業規格と安全規格の両方に準拠しています。結論として、MA 200はユーザーフレンドリーなインターフェイス、高度なレーザーアライメント技術、洗練された基板処理機能を備えた高性能マスクアライナーです。最高の精度と再現性を提供し、すべてのフォトリソグラフィのニーズに最適です。