中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9239896 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、プリント基板、半導体集積回路、その他様々なフラットパネルディスプレイの製造に使用されるマイクロリソグラフィーマスクアライナーです。この製品は、露光プロセス中にフォトマスクとワークを正確に揃えるように設計されています。マスクアライナーは2軸の動きが可能で、マスクと基板を所望のアライメントスペックの0。2 µm以内にアライメントすることができます。ミクロテックのMA200の精度と精度は、x、 y、 θ座標のビームを測定する高度なアライメント装置によって強化されています。さらに、外部放射からシールドされたマルチピン登録ユニット、3つのランプフォーカス補償制御、およびオートフォーカス制御を備えており、アライメントが精密仕様内に保持されるようにしています。KARL SUSS MA-200には、光学的に滑らかな露光プロセスを提供するいくつかの機能があります。このマシンには、半自動フォーカスおよび露出制御とともに、デジタルマイクロメータ読み出しが装備されています。露出光学は露出分野の均一な照明を提供し、98％の初回露出率を可能にし、歪みを除去します。露出光学系は、高解像度を提供するだけでなく、高速露光モードを提供します。KARL SUSS/MICROTEC MA200には、露光ステージ、プリアライメントステージ、登録ステージの3つのステージがあります。露光ステージは、フォトレジストと基板の露出を容易にします。プリアライメントステージは、フォトマスクの位置決めと基板の位置合わせを可能にし、アライメントターゲットの0。2 µm以内に登録エラーを保持します。登録段階では、基板とフォトマスクを正確に配置し、登録エラーを監視することができます。MA200は信頼できる性能のマスクのアライナーおよびマイクロリソグラフィの信頼できる用具です。その高精度で洗練されたアライメントツールは、マイクロサーキット印刷や半導体、フラットパネルの製造において信頼性が高いことが証明されています。したがって、それはプロのマイクロリソグラフィックデザイナーやメーカーの好ましい選択肢となっています。