中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9238449 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC MA 200
ID: 9238449
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 1995
Mask aligner, 6"-8" 1995 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、マイクロエレクトロニクスにおけるフォトリソグラフィおよび光学アライメントアプリケーション用の汎用性の高いマスクアライナーです。このツールは、中小規模の生産ラン、研究開発、プロトタイピング、および少量生産のための費用対効果の高いソリューションです。このアライナーは、画像表示用の大型液晶ディスプレイ(LCD)、可動マスクホルダー、自動アライメント用のデュアルビームレーザーモニター、XYZステージの自動インデックスを備えています。208mm x 208mmの露出面積と最大5mmの基板アライメントで設計されています。MICROTEC MA200は、高精度、高繰り返し性、歪みを最小限に抑えた複雑な集積回路を実現する高度な光学機器を内蔵しています。調節可能なレンズシステムは2Xから10Xまで及ぶ3つの独立したレンズオプションから成っています。光学は、光線の効率的なキャプチャのための大きな絞りを使用して、13。5mmの長距離の焦点と精度の深さを最適化し、マスクホルダーの簡単な調整を可能にするメカニカルアライメントユニット。自動アライメントに使用される主なレーザービームモニターは、傾斜スキャナとacousto光学ビームスプリッタを備えた二軸マシンです。KARL SUSS MA-200は、最大16種類の画像のデータを読み取り、表示、保存できる高速制御プロセッサを搭載しています。また、プロセッサはアライメントとソースのアライメントシステムを制御し、ユーザーは以前の露出実行を繰り返し、再現可能な結果を保証することができます。さらに、アライナーには露出と位置決め監視ツールが内蔵されており、露出時間を短縮し、過剰露出を回避することができます。MA200の初期設定は簡単で、露出とアライメントに使用するパラメータをユーザーが選択するだけです。このアセットは、フォトレジスト、はんだマスク、ドライフィルムレジスト、および他の多くの材料で使用するようにプログラムすることができます。さらに、露出とアライメントのプロセスは、複数のアプローチアーム、露出を制御する複数の方法、および最適な結果を得るために必要な追加のツールで簡単に構成されます。全体として、KARL SUSS/MICROTEC MA-200は、マイクロエレクトロニクス製造用の信頼性とユーザーフレンドリーなマスクアライナーです。このマシンの経験豊富なユーザーは、自動化されたアライメントとインデックス作成機能だけでなく、柔軟なアライメント領域と調整可能な光学系の恩恵を受けることができます。このツールは、露出パラメータを簡単に設定し、露出を繰り返すことができるため、中小規模の生産および研究開発プロジェクト向けの費用対効果が高く柔軟なソリューションです。
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