中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9238448 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、高度な精密アライメント機能を使用してフォトリソグラフィーマスクの正確なアライメントを保証するマスクアライナーです。このマスクアライナーは、1.25µmステップサイズでマスクの非常に正確なアライメントを提供し、最大光学系は± 2。2 µmです。精密モータで設計されており、最も要求の厳しいアライメントタスクに対して再現性とダイナミックな応答とともに、高品質のパフォーマンスを提供します。MICROTEC MA200は、ステッピングモーター、ダイレクトドライブモーター、リニアエンコーダを組み合わせた最上位の5軸ポジショニング装置を備えており、X、 Y、 Z、およびシータ方向にマスクを自動的に移動させ、正確なアライメントを確保します。また、安全なマスクローディングとESD保護用の真空チャックを備えており、マスクが完全な作動状態に保たれるようにします。KARL SUSS MA-200は、可能な限り最高の精度とスループットを達成するために最適化されたイメージングと高速アライメントを提供します。アライメントシステムは、高速オートフォーカス機能と画質の向上、強力なアライメントソフトウェアも備えています。このマスクアライナーは、高速かつ正確な測定を保証するために、高度なビジョンプロセッサと統合されています。精密校正ユニットを内蔵しており、光路を正確に整列させ、最高レベルの精度と再現性を提供します。また、KARL SUSS/MICROTEC MA-200は、カスタマイズ可能なユーザーインターフェイス、自動情報サブシステム、熱補償マシン、精密なPSDキャリブレーションなど、さまざまな機能セットを備えています。MICROTEC MA-200は、エアベアリングアライメント用に設置されており、便利な安全ロック機能とユーザーの利便性のための状態監視機能を備えています。それはまた速い多数のマスクのスキャンのための検出器の配列を含み、信頼できる操作のための高度の冷却用具と設計されています。KARL SUSS MA 200は、最新の光学アライメント技術で設計されており、さまざまなフォトリソグラフィック用途に最適です。高精度のアライメント機能と強力な性能を備えたMA 200は、フォトリソグラフィーマスクの正確で信頼性の高いアライメントに最適なツールです。