中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9238413 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、汎用性と高精度のマスクアライナーです。高い均一性と再現性で、ウェーハやマスクの正確かつ再現性の高いアライメントを提供します。このデバイスは、最大直径200mmの基板を最大880mmのマスクに正確にアライメントすることができます。MICROTEC MA200は生産用に設計されています。シンプルでユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えているため、ユーザーは目的のアライメントと露出パラメータを素早くプログラムできます。機械を制御するソフトウェアは堅牢で理解しやすいです。また、プログラムの保存機能、照明機器の自動調整、微調整のためのオペレータアシスタントなどの高度な機能も備えています。KARL SUSS MA-200は、半導体ウェーハやその他の基板の精密アライメントと露出を確保するために、高度な精密オプティクスとエレクトロニクスの配列を採用しています。この光学系は、銅蒸気レーザービームとステッピングモータ駆動レンズシステムを採用し、正確なアライメントを提供します。最大30nmの精度を誇るモーター式ウェハツーマスクアライメントユニットにより、マスクへの基板の再現性と正確なアライメントが保証されます。この光学系は、横方向、高さ、横方向の傾き補正、および非接触ウェハツーマスクプロファイルマッチングも可能です。MA-200には、ウェーハツーマスク交換用の自動マスク取扱機や大型レンズ取扱い機もあります。ウェハツーマスク交換はエレベーター工具を使用して行われ、真空アセットはウェハーとマスクを正確に保持して解放します。高度な光学系は、温度と湿度制御の環境内にあり、リソグラフィープロセスに対する最大限の保護を保証します。KARL SUSS MA200は、生産マスクの実践に効率的かつ費用対効果の高いソリューションを提供し、ウェーハ基板の精密なアライメントと露出を1時間あたり最大16ウェーハの速度で保証します。これにより、このモデルは大量の生産アプリケーションに最適です。