中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9222504 を販売中
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ID: 9222504
ウェーハサイズ: 8"
Mask aligner, 8"
Main body
Power supply
Lamp housing
Vacuum accumulator
CRT Stand
Beacon light tower
Tote-1 Miscellaneous: Computer & mouse
Tote-2 Miscellaneous: Motor & end effectors.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造におけるフォトマスクの精密なアライメントと露出に使用される自動マスクアライナーです。MICROTEC MA200は、最新のマイクロエレクトロニクス製造歩留まりを達成するために必要な精度と速度を提供します。KARL SUSS MA-200は、ステップオブジェクトテーブルを使用して、X、 Y、 Z方向のさまざまな形状とサイズの電子デバイスを正確に整列させます。ファインピッチステージと正確なメカニカルアライメントの組み合わせにより、電子部品のサブミクロン精度の位置決めと迅速なセットアップ時間を実現します。MICROTEC MA 200は、65,000位置の超微細ピッチメカニカルアライメントXYテーブルを使用して、オブジェクトや基板の位置決めを行います。レイカオプティクスは200mmの視野を提供し、背景コントラストが高く、光度が低い作業フィールドを獲得します。白色光源は、アライメントターゲットの広いフィールド露光を提供します。KARL SUSS/MICROTEC MA200は、最大4つの石英放射ランプと、紫外線と可視光のためのさまざまな交換可能なランプ源を備えた複数の露光機能を提供します。ランプは最大1000 Watt/cm2の電源に接続されています。電源は、基板への均一かつ一貫した最大露出を保証します。MA200にはレーザーフィデューシャルアライメントが装備されており、部品アライメントの最適な精度と複数のステップアンドリピート機能を備えています。ステップアンドリピートは、同じ構造を基板上の複数の場所に自動的に繰り返すことで、基板空間の効率的な使用を可能にします。KARL SUSS MA 200は、グローバル露出均一性を分析するための新しいフレームワークを提供します。このシステムは、グローバルな非均一報酬(GNUC)と高度なプロセス制御(APC)を組み込み、リアルタイムのフィードバックと自動調整を提供し、信頼性の向上と歩留まりの向上につながります。MICROTEC MA-200マスクアライナーは、効率的で正確なフォトマスク製造に不可欠なツールです。その高精度の機械的アライメント、複数の露出機能、レーザーフィジカルアライメント、およびAPCシステムはすべて、マイクロエレクトロニクス業界向けの高品質フォトマスクの生産を支援するように設計されています。
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