中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9216745 を販売中

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ID: 9216745
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1998
Mask aligner, 8", parts system P/N: 210AA057-03 Microscope objectives Controller PCB Wafer handler Chuck Cables Pressure controllers Gauges 1998 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造用に設計された高度な自動マスクアライナーです。3〜4ミクロンのアライメント精度を備えたフルオート装置で、最大14枚のマスクまたはレイヤーを揃えることができます。システムはステッピングレンズと真空チャックで構成され、複数のレイヤーのアライメントを正確に制御します。ステッピングレンズは、ミクロンの順序のアライメント精度を達成することができ、マスクとウェーハが適切に重なり合い、すべての機能が正確にアライメントされていることを保証します。MICROTEC MA200には、顕微鏡の位置決めが正確かつ正確であることを保証するために、高度な運動制御ユニットが装備されています。このマシンは、マスクとウェーハの両方に2軸調整を提供します。これにより、マスクまたはウェーハの正確な位置決めが可能になり、アライメント中に機能が正しく整列するようになります。このツールはまた、アライメントを視覚的に確認するための高品質の明視野光学画像を備えています。マスクパターンは高精度のマスクアライナーで生成され、すべての機能が正確に形成されます。アセットにはチップバイチップのアライメント機能も搭載しており、複数のレイヤーとチップを迅速かつ正確にアライメントできます。KARL SUSS MA-200は、フォトリソグラフィ、イメージング、化学機械研磨など、幅広い用途向けに設計されています。電子・半導体部品の幅広い製造に使用されています。このモデルには、ユーザーの個々の要件に合わせてさまざまなオプション機能が装備されています。KARL SUSS/MICROTEC MA-200は、半導体デバイスの微細加工に長年使用されている確立されたマスクアライナーです。さまざまなサイズのマイクロスケール機能を高精度に調整するために使用できる信頼性と高精度のツールです。これにより、研究と産業の両方で幅広い用途に適しています。
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