中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9180516 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、マイクロチップ製造に使用される基板にマスクパターンを迅速かつ高精度に転送するために設計されたマスクアライナーです。極端な紫外線（EUV）光を使用して半導体基板に露出し、その後、開発、イメージング、テストを行います。MICROTEC MA200は、特に複雑な形状または高密度の加工装置において、高精度で短いサイクル時間を必要とする製造ランに適しています。この装置は、複数の露出ツールヘッドを使用することにより、優れたサブミクロンアライメント精度を提供します。KARL SUSS MA-200は、PCベースのソフトウェアによって制御され、ユーザーはプロセスステップとアラインメントを保存、編集、および繰り返しできます。Mask Alignerは、マスクをウェーハに正確に配置するための視覚的なステップを使用しています。また、レイヤーごとに反復可能なデータを提供するため、プロセス手順の微調整が容易になり、毎回結果が向上します。KARL SUSS/MICROTEC MA-200は、高速マスク転送機構、正確なフォーカス制御のための差動フォーカスフィードバック機構、高解像度イメージビューア、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスなどの機能を備えています。ユニットは簡単なメンテナンスのために設計されており、冗長なプラグインコンポーネントを使用して素早く交換できます。また、操作性を監視および制御する高度な安全マシン、および動作中に発生する可能性のあるエラーを検出するための組み込みソフトウェアのエラーチェック機能が含まれています。すべての安全インターロックは、効率的かつ安全な操作のために監視および統合されています。MA200は、マイクロチップ製造プロセスで使用される表面へのパターンの迅速かつ正確な転送を可能にする信頼性の高い効率的なマスクアライナーです。高精度で反復可能なプロセスと、自動フォーカス制御、高解像度ビューア、高品質のマイクロチップの生産を支援する直感的なユーザーインターフェイスなどの機能を提供します。