中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #293618545 を販売中
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KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、Microelectronics Technologyで使用されるマスクパターンとアライメントマークを公開、開発、表示するために設計されたマスクアライナーです。フォトレジスト、ステンレス、クロム表面、ポリシリコンなど、幅広い基板上に高精度で複雑なパターンを作成するために使用されます。このマシンのメインフレームは、オプションのコンポーネントから構成されており、最大4つの基板ベースをサポートすることができ、柔軟性だけでなく、生産性とコスト削減のオプションの範囲を可能にします。ユーザーはカラーTFTタッチスクリーンを介してマスクアライナーを操作し、便利で直感的なインターフェイスを提供します。エッジ追従や、オフ軸シフトを使用して定義されたオフセットおよびユーザー指定の精度でICフィーチャーを登録するなど、さまざまなアライメント方法が用意されています。MICROTEC MA200は、365nmの波長を持つ高度な光学機器を使用し、0。40の統合NAを提供します。このシステムは、優れた解像度、良好なフィールドバイフィールド平坦性と一定の照明を提供します。パターンビューには、4096 x 4096pxの解像度を持つ高解像度CCDセンサーが搭載されています。クリティカルコンタクトホールパターンの正確なアライメントのために、マスクを通過する光の量を減らすのに役立つ特別なシングルピューピルアパーチャがあります。これは、意図したターゲット領域と正確に整列することができる明確なライトエッジを提供します。KARL SUSS MA-200には自動開発ステーションも装備されており、自動的に基板を開発者に転送し、化学物質を補充してからモジュールに戻します。これにより、プロセスのダウンタイムがなくなり、スループットが向上します。さらに使いやすさを高めるために、自己校正機能にはパターン検証があり、アライメントパターンまたはアライメントマークとユニットに格納されている標準参照とを自動的に比較します。さらにデータ保護のために、このマシンはAutowrite機能を備えており、停電時に画像処理パラメータを保存してリコールすることができます。これにより、すべての設定と処理された情報が保持されます。最後に、MA-200は、マシンを制御し、プロセスデータを管理するために使用される強力なWindowsベースのソフトウェアが付属しています。このソフトウェアは、包括的なプロセスデータプレビューと後処理オプションとともに、広範なレポート機能を提供します。このソフトウェアは、校正パラメータをあるマシンから別のマシン、またはパターンライブラリから別のマシンに転送することもできます。
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