中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #293614878 を販売中
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KARL SUSS/MICROTEC MA 200は、光学リソグラフィープロセス専用に設計された高精度で汎用性の高い強力なマスクアライナーです。ガラス、シリコン、セラミックスなどの基板をはじめ、様々な基板に対して高精度で再現性の高いマスクのアライメントが可能です。MICROTEC MA200は、独自の3段階アライメントシステム、4点光学アライメント、機械的傾斜ステージ、および内蔵マイクロコントローラを備えています。この組み合わせにより、非常に正確で再現性の高いアライメント結果が得られます。KARL SUSS MA-200の3段アライメントシステムは、リソグラフィ工程の精度と再現性を提供する特殊な機能です。最初のステージは、機械的な傾斜ステージによって実行される粗いアライメントです。この傾斜ステージを使用すると、基板を目的の位置とアライメント角度に移動できます。粗いアライメントが完了すると、4点光学アライメントがアライメントを微調整するために使用されます。この段階では、4つの光学ヘッドを使用して、マスクと基板のアライメントを測定します。最後に、マイクロコントローラは、2つの前の段階からのデータを分析し、矛盾を修正するために使用されます。ガラスMA-200シリコンまで様々な基板に対応できるため、汎用性にも優れています。これは、マスクアライナー内に内蔵のマイクロコントローラがあるため可能です。このマイクロコントローラには、各基板のサイズ、厚さ、形状を正確かつ正確に測定できる専用ソフトウェアが装備されています。マイクロコントローラは、各基板の傾斜ステージと4点光学構造を調整することもでき、サイズ、形状、材料ごとにアライメントプロセスを最適化することができます。全体として、KARL SUSS MA200は強力で高精度で汎用性の高いマスクアライナーであり、独自の3段階アライメントシステム、4点光学、機械的傾斜ステージ、内蔵マイクロコントローラを備えています。このマスクアライナーは、リソグラフィー処理をより正確で信頼性が高く、再現性に優れているため、光学リソグラフィー処理に最適です。
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