中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 EL #9193662 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 200 ELは、マイクロエレクトロニクスデバイスでミクロンまたはサブミクロンの機能を作成するフォトリソグラフィープロセス用に設計されたマスクアライナーです。フォトマスク、レプリカ、微細加工、MEMS、ダイヤモンド旋削（超精密光学ダイヤモンド切断）などの用途に適しています。このデバイスは、小型の高速マスクアライナーを使用して、目的のパターンをフォトマスクに正確にポイントし、マスクを基板上に露出させます。6軸モーションシステムと電動顕微鏡を搭載し、基板との正確なアライメントを可能にします。このユニットには、露出パラメータを微調整するための可変角度とモーター付きスリット絞りも含まれています。MICROTEC MA 200 ELはX-Yスキャンステージによって制御されます。最大200x200mmのワーキングエリアと最大25 x 25mmのサンプル基板、最大1µmフィールド精度を提供することができます。最大速度は3。5m/sです。この機械は、モーションステージでモーター付きスリットを制御するための高性能の16ビットSPiD-2コントローラを使用しており、サブミクロンの精度アライメントを実現しています。また、FPGAベースのビジョンツールも含まれており、サブストラータの位置を自動的に識別できます。KARL SUSS MA200 ELは、改良されたシングルマスク、シングル露出モードを備えており、露出時間は最大5秒です。それは設計レイアウトに従って露出変数を自動的に制御することができます。偏向制御により、アライメントの精度と再現性が向上します。さらに、アセットはマスクとチップ間の垂直ミスアライメント角度を手動で調整することができます。このデバイスはコンパクトで軽量で保守が非常に簡単で、実用的なプロセスエンジニアリングおよび開発アプリケーションに最適です。それは標準的なクリーンルームの環境で容易に統合することができます。