中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 Compact #9391681 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC MA 200 Compact
ID: 9391681
Mask aligner Process: Litho.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200 Compactは、マイクロエレクトロニクス製品やデバイスを処理するために設計された高度なマスクアライナー装置です。0。30 μ mのフィーチャーサイズで高解像度を実現できるマルチユーザーシステムです。これは、高速マスク交換時間と費用対効果の高いフォトリソグラフィーソリューションを提供する信頼性の高い、ユーザーフレンドリーなユニットです。MICROTEC MA 200 Compactは、高精度リソグラフィ技術に特化した高度なマスクアライナーです。この精密な機械は完全な表面の重複および 0。1 mまでの側面登録の正確さを提供 ます。また、レーザー技術を使用したダイレクトライティングやマトリックス登録などのアライメントモードも提供しています。これは、基板上にイメージされ、アライメントに使用されるリファレンスマーカーで事前に配置されたマスクの使用です。KARL SUSS MA-200 COMPACTは、最大300nmのマイクロコントラスト画像も提供します。このツールは、大型基板や製品から小型ウェハまで、さまざまな作業に対応できます。基板ホルダーは、さまざまな製品の正確なアライメントを容易に異なる方向に基板を配置することができます。厚さ0。1〜8mmのウェーハ加工が可能で、高解像度のオートフォーカスを備え、再現性の高いアラインメントを実現します。さらに、このデバイスは高度なオートメーションも備えており、直径6インチから8インチまでのウエハまたは基板を処理することができます。その柔軟な光学設計は、すべての焦点距離にわたって優れたイメージング性能を提供します。また、200mmレンズを採用し、より大きな光学的深度を実現しています。MICROTEC MA-200 COMPACTの入出力ステージングには、2台のマスクドラムハンドラが装備されており、効率的なロボットマスク交換が可能です。KARL SUSS/MICROTEC MA-200 COMPACTマスクアライナーには、暗室およびファブ操作のための標準的な安全機能が装備されています。それはオペレータだけでなく装置の保護を保障するように設計され、また機能不全を検出できる複数の自己診断機能および安全インターロックがあります。このモデルには、最新バージョンのMA Enterpriseソフトウェアパッケージも装備されています。この最先端のソフトウェアは、自動最適化、制御チャート、リーク解析、およびリソグラフィ処理を合理化する他の多くのツールなどの強力な機能を提供します。さらに、システムをリモート制御し、貴重なユニットや製品情報を監視することができます組み込み機器制御を備えています。MA-200 COMPACTは、精密機器、信頼性の高い運用、および費用対効果の高いソリューションを備えた高度なフォトリソグラフィーソリューションのプロバイダーです。
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