中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 Compact #9350986 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 200 Compactは、マイクロエレクトロニクスデバイスの少量生産およびプロトタイピングに適したマスクアライナーです。フォトレジストマスクの製造に最適であり、特に歩留まり率の高い非標準デバイスジオメトリの迅速なターンアラウンドに適しています。MA 200のコンパクト設計により、作業エリアへのアクセスが容易になり、コンパクトなフレームは高い再現性と精度を提供します。フォトマスクと基板の正確なアライメントを可能にする、長精度のグラウンドガラス板を特長としています。これにより、焦点方向をシフトする際の正確な再現性と、露出領域の正確な測定が保証されます。このマシンは、最大6 μ mの高解像度アライメントも提供します。MA 200の機械的動作は、最大200mm/sの高速スキャン機能を備えたダイレクトドライブサーボモータによって駆動されます。露光システムは、波長の1％に正確な400nm〜1060nmのスペクトルを持つダイオードラインレーザーです。このレーザーに調節可能な点サイズがあり、ミクロンサイズのパターンを作り出す柔軟性を提供します。MA 200は、固有の電子性能監視を使用して、アライメントエラーを密接に観察し、エラーが特定のしきい値を超えた場合に露出サイクルを中止します。MICROTECマスクアライナーには、リアルタイムの誤り訂正とプロセス精度向上のための検査システムも含まれています。ユニットは使いやすいです。直感的なタッチスクリーンディスプレイは、システムのパフォーマンスに関するリアルタイムフィードバックを提供します。MA 200は、最適な信頼性と長期的な性能を得るために、ISO 9002品質基準で製造されています。ユニットのメンテナンスはシンプルで費用対効果が高い。すべての付属品および部品は、他の標準部品との互換性と互換性を確保するために、同じISO 9002準拠の環境で製造されています。全体として、KARL SUSS MA 200は、フォトレジスト材料とデバイス形状を製造するための信頼性と費用対効果の高いツールです。正確なアライメント、精度、再現性、速度を提供し、マイクロエレクトロニクス部品の迅速なプロトタイピングに理想的なソリューションです。