中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 Compact #9289493 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 200 Compactは、マイクロリソグラフィ用のフォトマスクを便利かつ正確に平面化するために設計された、完全に自動化されたマスクアライナーです。特許取得済みのビームステアリング技術を使用し、マスクを高精度に迅速に整列させるクローズドループマスクアライナーです。アライナーはユニークで堅牢な4列フレームを備えており、幅広いアライメント戦略を可能にします。低振動設計とリニアスライドデザインにより、MICROTEC MA 200 Compactは優れた長期安定性と信頼性の高い結果を提供します。KARL SUSS MA-200 COMPACTには2つのスキャンメカニズムがあります。1つ目は、アクティブ要素とパッシブ要素の両方を使用して、指定された位置の数ナノメートル以内にマスクを自動的に整列させる特許取得済みのビームステアリング自己整列メカニズムです。2つ目は、2000 μ mまでの視野を持つ固定ビーム偏向機構で、広範囲のパターンカバレッジを可能にします。アライナーは、様々なチャックやウェーハステージを装備することができ、整然としたウェーハ交換システムを備えているため、迅速なマスク交換が可能です。KARL SUSS/MICROTEC MA-200 COMPACTには、自動アライメント用のレーザーダイオードレーザーと、エッジ検出と検証用の連続カバーガラススキャンシステムが搭載されています。KARL SUSS MA 200 Compactは、直径200mm、厚さ4。5mmのウェーハを自動処理するための正確な横方向アライメント精度を提供するように設計されています。また、MICROTEC MA-200 COMPACTには2つの精密スキャンレンズが内蔵されており、サンプルをマスク上にイメージして正しいアライメントを行うことができます。これらのレンズは完全に無彩色であり、最大限のイメージングの柔軟性を提供するように設計されています。このアライナーには、振動を低減するためのスキャン加速度センサーや、ウェーハの屈曲によるアライメント残差を取り除くための平面内補正メカニズムなどの高度な機能も搭載しています。MA 200 Compactは簡単な操作と最小限のオペレータトレーニングを提供し、中断のない生産に複数のレベルのユーザーアクセスを提供します。グラフィカルユーザーインターフェイス、簡単なキャリブレーション、複数のテスト/検証手順を備えたユーザーフレンドリーな設計により、オペレータはマスクアライナーを使用して素早く立ち上がり、実行できます。MA-200 COMPACTは、マスク加工の再現性と汎用性を最大限に発揮し、高精度フォトリソグラフィ用途に最適です。