中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 CC #9182471 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 200 CCマスクアライナーは、フォトマスクからウェーハにパターンを転送するために使用される自動リソグラフィーシステムです。通常、半導体デバイスやその他のマイクロエレクトロメカニカルデバイスの製造に使用されます。MICROTEC MA 200CCは、高精度と再現性が不可欠なアプリケーション向けの費用対効果の高いソリューションです。KARL SUSS MA-200 CCは、ウェーハ上のフォトマスクの精密かつ再現可能なアライメントを提供するマイクロレゾナント（MR）ステージなど、いくつかの重要なコンポーネントの周りに構築されています。MRステージはピエゾベースのアライメントシステムに結合されており、ウェーハに対してサブミクロンの垂直および横位置精度を提供します。さらに、KARL SUSS MA 200 CCは、最大340 µm/secの光学スループットとX、 Y、 ±1µmのΘのアライメント精度を提供する高スループット、高リゾリューション6インチステッパーを使用しています。動作中は、フォトマスクをMRステージに積み込み、ウェーハの近くに持ち込みます。フォトマスクとウェハは、レチクルマーキングとクールな白色LEDを参照して光学的に整列されます。このアライメントは、ウェーハのアライメントと露出の前に3カメラメソッドを使用して実行されます。アライメントが完了すると、ウェーハが露出され、MRステージが次の露出位置に移動します。すべての露出が完了すると、フォトマスクはアンロードされ、さらなる露出のために新しいフォトマスクがロードされます。この従来のリソグラフィープロセスに加えて、KARL SUSS MA 200CCには、生産性を最大化するために複数のウェーハを同時に配置して露出するための自動プロトコルが含まれています。MA 200 CCは、半導体デバイスの製造に不可欠なさまざまな機能を提供しています。分解能は0。5 μ m〜10 μ mで、ポリマーやハイブリッドなど様々な基材を露出することができます。さらに、それは競争力のある価格であるだけでなく、さまざまなプロセス手順や材料に適応することができます。MICROTEC MA-200 CCは、高付加価値のマイクロエレクトロニクスデバイスの製造の厳しい要件を満たすことができる汎用性と信頼性の高いツールです。その結果、複雑なマイクロデバイスを製造するためのあらゆるリソグラフィ研究所の不可欠なコンポーネントとなっています。