中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 CC #9173378 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 200 CCは、主に電子回路およびフォトマスク製造の研究開発に使用されるマスクアライナーです。このユニットは、最大200mmのウェーハ容量と10Xから60Xまでの可変ベース倍率範囲を備えた高分解能の高精度アライメントを提供します。また、最大200mmウェーハにフォトレジストを適用することができ、様々なレジストタイプの露出設定を調整することができます。ステッピングモーターと光学センサーを使用して正確なアライメントとフォーカス制御を行い、直接書き込みアプリケーションに信頼性の高い反復可能な結果を提供します。fiducial認識とセンターシステムを備え、精度は+/-0。10mmです。デバイス内のカメラは、最小反射率でウェーハアライメントマークを検出できます。さらに、露光時に最高レベルの精度を確保するオートフォーカス機構を備えています。MICROTEC MA 200CCは、ウェハの自動認識、高度なプロセス制御、露出パラメータの最適化を可能にするアルゴリズムも備えています。水晶、クロム、アルミニウムのフォトマスクを用いて透明な層をパターン化することが可能であり、フォトレジスト材料も多種多様です。このデバイスは、エポキシ、PDMS、 SiO2、 Si3N4、ポリイミドなどのさまざまな材料、およびNi、 Ti、 Au、 Pd、 Cr。 KARL SUSS MA-200 CCなどの高度な材料を処理することができます。最高レベルの精度、精度、再現性を提供し、信頼性と再現性の高い結果を保証するように設計されています。また使いやすく、様々な素材をパターン化することができます。このデバイスは、電子回路とフォトマスク製造の開発者にとって非常に貴重なツールであり、コスト効率が高く高精度な結果を提供します。