中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 CC #293806364 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 200 CCは、フォトリソグラフィープロセスに使用されるマスクアライナーです。正確なX-Y-Z移動機能を備えたステージ上のウェーハの位置決めに、高精度な光学アライメントを提供するように設計されています。半導体加工、光学コーティング、LCD、 LED、 MEMS、薄膜成膜など、非常に高い精度を必要とする用途に対応します。MICROTEC MA 200CCは、アクティブなフィールド直径198 mmと7。9 μ mの再現性、および最大175 mmの絞りを備えています。アライメント顕微鏡装置を備えており、ウェーハの正確な光学アライメントを保証します。さらに、顕微鏡には、マスク上のパターンをウェーハで正確に登録するためのレーザーシステムが含まれています。すべてのアライメント機能は、マイクロプロセッサベースのユニットによって制御されます。KARL SUSS MA-200 CCは、一度に最大3枚のマスクをサポートします。高精度のX-Yオプティカルアライメントマシンにより、より高いスループットを提供します。フィールドサイズは20x20 mm²〜150x150 mm²です。KARL SUSS MA 200CCは、ファインパターン回路の生産のための高速なパターン変更を容易にします。さらに、特許取得済みのオートメーションツールは、顕微鏡の自動ナビゲーションを可能にし、手動のアライメントを排除し、再現性と精度を提供します。MICROTEC MA-200 CCは、傷や残留物を軽減する自動洗浄アセットも備えています。それは調節可能な吸引および上昇メカニズムが付いている高度の基質の処理モデルを含んでいます。アライナーはまた、石英、ガラス、エポキシなどの様々なマスク材料と互換性があるように設計されています。MA-200 CCは、高精度を必要とするアプリケーションに優れた制御を提供する汎用性の高い高精度マスクアライナーです。これは、例外的な再現性と精密なアライメントだけでなく、傷や残留物を軽減する洗浄装置を提供しています。半導体加工、光学コーティング、LCD、 LED、 MEMS、薄膜成膜など、さまざまな用途に最適です。