中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-151 #9095086 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA-151は、マイクロエレクトロニクス業界における薄膜およびウェーハ加工、リソグラフィおよび検査、フォトリソグラフィのパターン作成に使用されるコンピュータ制御マスクアライナーです。この装置は、XYZ可動ステージ、高精度測位システム、およびウエハや基板上のパターンや特徴の正確なアライメントと露出を可能にするユニークな投影光学ユニットで構成されています。MICROTEC MA-151は、直径4。0インチまでのウェーハのパターン加工が可能です。KARL SUSS MA-151のXYZ移動ステージは、基板とマスクの相対的な高精度な位置決めを可能にします。高精度のポジショニングマシンは、0。2ミクロンのミスアライメントを検出できる一連のレーザーアライメントセンサーを使用して、マスクと基板の完璧なアライメントを保証します。これにより、高精度で高解像度のパターニングを実現できます。MA-151のプロジェクションオプティクスツールは、業界をリードするカールツァイスレンズ、高性能キセノンランプ、ライトコントローラで構成されています。この組み合わせにより、非常に高解像度の基板上にナノスケールの特徴を形成することができます。KARL SUSS/MICROTEC MA-151のライトコントローラは、露光時間や強度など、さまざまな設定が可能で、特定のアプリケーションのパターン処理を微調整できます。MICROTEC MA-151は、特許取得済みのドライムーブメカニズムを使用して、結果の効率と再現性を向上させます。これにより、各サイクル間のセットアップ時間と所要時間が短縮されます。アセットには、モデルの現在の状態とさまざまな操作の進捗状況をタイムリーにフィードバックする包括的なグラフィカルユーザーインターフェイスも装備されています。結論として、KARL SUSS MA-151は、ナノスケールの特徴を持つウエハーまたは基板のパターン化を目的とした高精度マスクアライナーです。その精密XYZの移動段階、高精度の位置決め装置および高度の投射光学はマイクロエレクトロニクスの特徴の正確な直線そして露出を保障します、MA-151はリソグラフィおよび薄膜およびウェーハの処理、点検およびフォトリソグラフィ操作のための理想的な選択をします。