中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150E #9131075 を販売中
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KARL SUSS/MICROTEC MA-150Eは、フォトリソグラフィ、薄膜蒸着、太陽電池製造など、多くの用途で精密微細加工に使用される自動マスクアライナー装置です。このシステムは、高精度で高スループット性能を実現するよう設計されています。メインコントロールユニット、ステッピングモーター、真空チャック、アライメントセンサー、一連のアームで構成され、一連のステージを通して基板を動かすことができます。MICROTEC MA 150Eのメインコントロールユニットは、直感的なユーザーインターフェースを備えたマイクロプロセッサ制御ユニットです。それは機械の容易なプログラミングおよび操作を可能にします。ツールのすべてのコンポーネントをインターフェイスから制御することができ、基板のアライメントと露出を正確に制御できます。ステッピングモーターは、関節アームの正確な位置決めと動きを可能にする低エネルギーモーターです。真空チャックは、露出中に基板をしっかりと固定する責任があります。アライメントセンサーは基板の傾きを測定し、必要な補正を行います。アセットには、手動と自動の両方のアラインメントオプションがあります。手動アライメントの場合、チャックとホルダーにアライメントマークが表示され、簡単に参照点が表示されます。これにより、材料の正確な位置決めとアライメントが可能になります。自動アライメントオプションでは「、光学オートセンタリング」技術を使用してマークを認識し、自動的に補正を行います。これにより、プロセスが簡素化され、ユーザーインタラクションが削減されます。KARL SUSS MA 150 Eは、精度の向上とユーザーインターフェースの向上により、ほとんどの通常のマスクアライナーよりも高速な動作が可能です。25nmの分解能と、希望の品質に応じて8〜250秒の露光時間を実現できます。使いやすく、メンテナンスも最小限で、大規模なマスクアライメントプロジェクトに最適です。その信頼性と精度は、業界をリードするモデルになります。
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